用于 1 sccm 到 100 slm 流量的層流元件
molbloc-L 是與 molbox 質(zhì)量流量終端結(jié)合使用的層流元件。molbloc 流量路徑位于 molbloc 內(nèi)，是活塞與結(jié)合緊密的汽缸體之間的縱向環(huán)形間隙。通過調(diào)整這個(gè)間隙的尺寸，可獲得不同的 molbloc 量程。對(duì)于高流量量程（1E4 尺寸及以上），需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 機(jī)體。
特性一覽
- 可與現(xiàn)有的 molbox1+ 和 molbox RFM 質(zhì)量流量終端以及 COMPASS 軟件結(jié)合使用
- 整合了過濾器，可保護(hù)其免受污染
- 完整的氣體溫度調(diào)節(jié)和測(cè)量
- 連續(xù)、實(shí)時(shí)的讀數(shù)
- 可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)
- 無活動(dòng)部件
molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相對(duì)于標(biāo)稱流量阻抗的數(shù)字。在 250 kPa 絕壓 (36 psia) 上游壓力和 50 kPa (7.5 psid) 壓力差的情況下，當(dāng)?shù)獨(dú)饬鹘?jīng) molbloc 時(shí)，標(biāo)稱阻抗可產(chǎn)生標(biāo)稱流量量程。在實(shí)踐中，molbloc 流量量程可能與標(biāo)稱流量量程差別很大。這些差別來自氣體之間的密度和粘性之間的差別，也來自不同的 molbloc 工作壓力校準(zhǔn)選項(xiàng)。
技術(shù)指標(biāo) - 標(biāo)準(zhǔn) molbloc-L 校準(zhǔn) - 與 molbox1+ 終端結(jié)合使用 | |
| 測(cè)量更新速率 | 1 秒 |
| 范圍 | 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力 取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱第 1.2.5.1.3 節(jié)） |
| 分辨率 | 0.0015 % FS |
| 線性 | ±0.05% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS ±0.005% FS，在 10% FS 以下 |
| 重復(fù)性 | ±0.05% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS ±0.005% FS，在 10% FS 以下 |
| 精確度1 | ±0.07% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS 10％ FS 下為 ±0.007％ FS |
| 穩(wěn)定度2 （1 年期） | ±0.09% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS 10％ FS 下為 ±0.009％ FS |
| 測(cè)量不確定度3 | ±0.2% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS 10％ FS 下為 ±0.02％ FS |
| （N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校準(zhǔn)時(shí)使用的任意氣體） | 1E5 molbloc ±0.5% 讀數(shù)，從 25% 到 99% FS ±0.125% FS，在 25% FS 以下 |
| 1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。 2 穩(wěn)定度：典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時(shí)特定時(shí)間段內(nèi)從零到范圍值的變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測(cè)，因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的穩(wěn)定度。 3 測(cè)量不確定度（精確度）：molbox1+ 流量指示相對(duì)于通過 molbloc 的流量真值的偏差，包括精確度、穩(wěn)定度和福祿克公司計(jì)量校準(zhǔn)部的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量不確定度。 | |
技術(shù)指標(biāo) - 特級(jí) molbloc-L 校準(zhǔn) - 與 molbox1+ 終端結(jié)合使用 | |
| 測(cè)量更新速率 | 1 秒 |
| 范圍 | 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力 取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱第 1.2.5.1.2 節(jié)） |
| 分辨率 | 0.0015 % FS |
| 線性 | ±0.05% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS ±0.005% FS，在 10% FS 以下 |
| 重復(fù)性 | ±0.05% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS ±0.005% FS，在 10% FS 以下 |
| 精確度1 | ±0.07% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS 10％ FS 下為 ±0.007％ FS |
| 穩(wěn)定度2 （1 年期） | ±0.03% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS 10％ FS 下為 ±0.003％ FS |
| 測(cè)量不確定度3 | ±0.125% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS 10％ FS 下為 ±0.0125％ FS |
| （N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校準(zhǔn)時(shí)使用的任意氣體） | 1E5 molbloc-L 特級(jí)校準(zhǔn)不可用 |
| 1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。 2 穩(wěn)定度：典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時(shí)特定時(shí)間段內(nèi)從零到范圍值的變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測(cè)，因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的穩(wěn)定度。 3 測(cè)量不確定度（精確度）：molbox1+ 流量指示相對(duì)于通過 molbloc 的流量真值的偏差，包括精確度、穩(wěn)定度和福祿克公司計(jì)量校準(zhǔn)部的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量不確定度。 | |
技術(shù)指標(biāo) - 標(biāo)準(zhǔn) molbloc-L 校準(zhǔn) - 與 molbox RFM 終端結(jié)合使用 | |
| molbloc-L（量程從 1E1-L 到 3E4-L） | |
| 測(cè)量更新速率 | 1 秒 |
| 范圍 | 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力，取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱 molbloc-L 量程表） |
| 分辨率 | 0.01% FS |
| 線性 | ±0.23% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS；±0.023% FS，在 10% FS 以下 |
| 重復(fù)性 | ±0.1% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS；±0.01% FS，在 10% FS 以下 |
| 精確度1 | ±0.25% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS；±0.025% FS，在 10% FS 以下 |
| 預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度2 （一年期） | ±0.15% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS；±0.015% FS，在 10% FS 以下 |
| 測(cè)量不確定度3 | ±0.5% 讀數(shù)，從 10% 到 99% FS；±0.05% FS，在 10% FS 以下 |
具有微量程選項(xiàng)的 molbox RFM | ||
| molbloc-L（量程從 1E1-L 到 3E4-L） | molbloc-L（量程僅僅是 1E5) | |
| 測(cè)量更新速率 | 1 秒 | 1 秒 |
| 范圍 | 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力，取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱 molbloc-L 表） | 從 0 到 molbloc 滿刻度，取決于氣體和 molbloc 壓力，取決于校準(zhǔn)類型（請(qǐng)參閱 molbloc-L 表） |
| 分辨率 | 0.01 % FS，在 0.001 % FS 以下；0.001 % FS，在 10% FS 以下 | 0.01% FS |
| 線性 | ±0.23% 讀數(shù)，從 1% 到 99% FS ±0.0023% FS，在 1% FS 以下 | ±0.25% 讀數(shù)，從 5% 到 99% FS；±0.0125% FS，在 5% FS 以下 |
| 重復(fù)性 | ±0.1% 讀數(shù)，從 1% 到 99% FS；±0.001% FS，在 1% FS 以下 | ±0.2% 讀數(shù)，從 5% 到 99% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下 |
| 精確度1 | ±0.25% 讀數(shù)，從 1% 到 99% FS；±0.0025% FS，在 1% FS 以下 | ±0.32% 讀數(shù)，從 5% 到 99% FS；±0.016% FS，在 5% FS 以下 |
| 預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度2 （一年期） | ±0.15% 讀數(shù)，從 1% 到 99% FS；±0.0015% FS，在 1% FS 以下 | ±0.2% 讀數(shù)，從 5% 到 99% FS；±0.01% FS，在 5% FS 以下 |
| 測(cè)量不確定度3 | ±0.5% 讀數(shù)，從 1% 到 99% FS；±0.005% FS，在 1% FS 以下 | ±0.5% 讀數(shù)，從 5% 到 99% FS；±0.025% FS，在 5% FS 以下 |
