圓柱形磁控陰極：
圓柱磁控陰極在鍍膜玻璃行業(yè)得到廣泛的的信任，提供了優(yōu)秀均勻性的同時實現(xiàn)靶材利用率?，F(xiàn)在，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，經(jīng)濟(jì)的圓柱形磁控陰極在平板顯示器、太陽能電池、和Web涂層應(yīng)用中實現(xiàn)。
定制設(shè)計
提供完整的組件，直徑從3英寸到6英寸。
經(jīng)濟(jì)和兼容的投資
采用了通用的和具有性價比的設(shè)計以適應(yīng)任何類型的靶材。而且它被設(shè)計成使用現(xiàn)成的組件，以實現(xiàn)廉價的、長期的投資和可靠性。
技術(shù)
磁體技術(shù)創(chuàng)建一個源和工件之間的接近正常的沉積分布。改進(jìn)的沉積分布使得腔體上的碎片沉積減少。
此外，磁鐵陣列能提供更高的磁場強(qiáng)度，它允許以較低的功耗來達(dá)到常規(guī)的沉積速率。
節(jié)省材料，節(jié)約能耗
通常圓柱磁控陰極可以在相同面積上容納平面磁控陰極三倍的靶材。可進(jìn)一步提升85％的靶材利用率。另外，因為工作在較低的功率下，可以降低20%的功耗。
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致力于幫助我們的客戶開發(fā)生產(chǎn)力的和具有成本效益的薄膜應(yīng)用，提供*的磁控陰極，高品質(zhì)的沉積材料，全面的技術(shù)支持。我們隨時準(zhǔn)備著以確保您的滿意度。
