激光多普勒測振儀采用的是非接觸式的測量方法,具有出色的頻率和相位響應,可準確地對各種物體的振動、位移、速度及加速度等進行測量,在滿足高精度、高速測量需求的同時,還可以彌補接觸式測量無法測量的缺陷。它主要由干涉儀及振動控制器兩部分組成,并被廣泛應用于各高校/研究所以及各大工廠,是振動測量的儀器。
工作原理
激光測振儀的核心是一臺高精密激光干涉儀和一臺信號處理器。高精密激光干涉儀內(nèi)的He-Ne激光器發(fā)出的偏振光(設頻率為F0)由分光鏡分成兩路,一路作為測量光,一路作為參考光。參考光通過聲光調(diào)制器具有一定頻移(F),測量光聚焦到被測物體表面,物體振動引起測量光頻移(f=2v/λ)。系統(tǒng)收集反射光并與參考光匯聚在傳感器上,這樣兩束光在傳感器表面產(chǎn)生干涉,干涉信號的頻率為F0+F+f,攜帶了被測物體的振動信息,信號處理器將頻率信號轉(zhuǎn)換為物體振動的速度和位移信號。
應用領域
激光測振儀采用非接觸式動態(tài)干涉測量技術(shù),在以下各方面有廣泛的應用:
1.微機電系統(tǒng)(MEMS)動態(tài)測試;
2.汽車工業(yè):發(fā)動機、齒輪、制動器、輪胎、排氣系統(tǒng)、車身等;
3.馬達回轉(zhuǎn)動態(tài)精度測試;
4.機床動態(tài)精度測試;
5.生命科學、醫(yī)學、動物學研究;
6.橋梁、建筑振動測試。
技術(shù)參數(shù)
單點激光測振儀(法向) | |
操作溫度 | 3℃~45℃ |
操作濕度 | <90% |
電源 | 220~240Vrms 50-60Hz |
激光波長 | He-Ne laser 632.8nm |
工作距離 | 0.35m~20m(取決于被測表面) |
輸出電壓范圍 | ±10V |
頻率范圍 | DC~3MHz |
速度分辨率﹡ | 優(yōu)于0.02um/s/√Hz |
位移分辨率﹡﹡ | 優(yōu)于15pm |
濾波設置 | 高通、低通濾波設置 |
線性誤差 | 1% |
速度 | VS系列速度、VD-16數(shù)字速度 |
位移 | DD-16數(shù)字位移、DD-21數(shù)字位移 |
﹡ 選用不同鏡頭可以實現(xiàn)不同的工作距離
﹡﹡ 使用VD-16數(shù)字速度
﹡﹡﹡ 使用DD-16、DD-21數(shù)字位移
VS系列速度 | ||||
速度解調(diào)卡﹡ | VS-50 | VS-500 | VS-5K | VS-10K |
速度量程 | 50mm/s | 500mm/s | 5m/s | 10m/s |
頻率范圍 | 0-50KHz | 0-1MHz | 0-2.5MHz | 0-2.5MHz |
低通濾波器 | 500Hz 5KHz 20KHz 50KHz | 2KHz 20KHz 200KHz 1MHz | 2KHz 20KHz 200KHz 2.5MHz | |
高通濾波器 | DC DC BLOCK 60Hz 1KHz | DC DC BLOCK 1KHz 20KHz | ||
線性誤差 | 1% | |||
輸出電壓范圍 | ±10V |
﹡可根據(jù)客戶要求定制適當量程
VD-16數(shù)字速度 Digital Velocity Decoders | ||
檔位 (mm/s/V) | 速度 (m/s,peak﹡) | 頻率范圍 (KHz) |
0.001 | 0.00001 | 0-2 |
0.005 | 0.00005 | 0-10 |
0.01 | 0.0001 | 0-80 |
0.05 | 0.0005 | 0-80 |
0.1 | 0.001 | 0-80 |
0.5 | 0.005 | 0-320 |
1 | 0.01 | 0-320 |
2 | 0.02 | 0-320 |
5 | 0.05 | 0-320 |
10 | 0.1 | 0-320 |
20 | 0.2 | 0-1000 |
50 | 0.5 | 0-3000 |
100 | 1 | 0-3000 |
200 | 2 | 0-3000 |
500 | 5 | 0-3000 |
1000 | 10 | 0-3000 |
﹡ 輸出電壓范圍±10V
DD-16數(shù)字位移 Digital Displacement Decoders | ||
檔位 | 位移 | 頻率范圍 |
(μm/V) | (μm,peak-peak﹡) | (KHz) |
0.05 | 1 | 0-3000 |
0.1 | 2 | 0-3000 |
0.2 | 4 | 0-3000 |
0.5 | 10 | 0-3000 |
1 | 20 | 0-3000 |
2 | 40 | 0-3000 |
5 | 100 | 0-3000 |
10 | 200 | 0-3000 |
20 | 400 | 0-3000 |
50 | 1000 | 0-3000 |
100 | 2000 | 0-3000 |
200 | 4000 | 0-3000 |
500 | 10000 | 0-3000 |
1000 | 20000 | 0-3000 |
2000 | 40000 | 0-3000 |
5000 | 100000 | 0-3000 |
DD-21數(shù)字位移 Digital Displacement Decoders | ||
檔位 (μm/V) | 位移 (μm,peak-peak﹡) | 頻率范圍 (KHz) |
0.05 | 1 | 0-3000 |
0.1 | 2 | 0-3000 |
0.2 | 4 | 0-3000 |
0.5 | 10 | 0-3000 |
1 | 20 | 0-3000 |
2 | 40 | 0-3000 |
5 | 100 | 0-3000 |
10 | 200 | 0-3000 |
20 | 400 | 0-3000 |
50 | 1000 | 0-3000 |
100 | 2000 | 0-3000 |
200 | 4000 | 0-3000 |
500 | 10000 | 0-3000 |
1000 | 20000 | 0-3000 |
2000 | 40000 | 0-3000 |
5000 | 100000 | 0-3000 |
10000 | 200000 | 0-3000 |
20000 | 400000 | 0-3000 |
50000 | 1000000 | 0-3000 |
100000 | 2000000 | 0-3000 |
200000 | 4000000 | 0-3000 |
﹡ 輸出電壓范圍±10V
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