■高測(cè)量精度
允許長(zhǎng)度測(cè)量誤差EO,MPE: 1.8+4L/1000μm
基于新規(guī)格: JIS B7440-2013 (ISO 10360-2009) 的評(píng)價(jià)方法
■新的設(shè)計(jì)
NEX 系列與更的FUSION NEX 機(jī)型使用相同的設(shè)計(jì)理念。
■動(dòng)態(tài)剛性的復(fù)式橋架結(jié)構(gòu)
一般情況下，Y軸的導(dǎo)向面會(huì)在石平臺(tái)右側(cè)再設(shè)置1個(gè)導(dǎo)向面（副導(dǎo)軌）。復(fù)式架橋結(jié)構(gòu)通過(guò)將石平臺(tái)的兩側(cè)都作為導(dǎo)向面，可防止副導(dǎo)軌連接處（螺絲、粘著等）的老化，從而長(zhǎng)期保證穩(wěn)定的精度。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，也提高剛性。同時(shí)，由于導(dǎo)向面易于加工，因此，可實(shí)現(xiàn)高精度。
■抑制Z（上下）方向驅(qū)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)、新開(kāi)發(fā)的A.V.D（Anti Vibration Drive）機(jī)構(gòu)
Z軸驅(qū)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)是由驅(qū)動(dòng)電機(jī)自身旋轉(zhuǎn)不均導(dǎo)致的，單純的摩擦驅(qū)動(dòng)會(huì)將電機(jī)的振動(dòng)直接傳遞到Z軸。
SVA NEX通過(guò)采用借助鋼帶驅(qū)動(dòng)Z軸的機(jī)構(gòu)，減輕了振動(dòng)。
同時(shí)，在Z軸的重量平衡結(jié)構(gòu)中采用了氣缸平衡結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了輕量化，并通過(guò)新設(shè)計(jì)的雙重滑輪方式實(shí)現(xiàn)了緊湊化。
■通過(guò)CAE分析與采用單體殼提高機(jī)械剛性※及實(shí)現(xiàn)輕量化 ※與以往比提高150%
SVA系列憑借使用CAE技術(shù)的右Y支柱優(yōu)化設(shè)計(jì)（零部件的一體化、輕量化、剛性提高），通過(guò)提高高速性能及縮小重復(fù)誤差，實(shí)現(xiàn)了高速、高精度化。與傳統(tǒng)機(jī)型相比，測(cè)量機(jī)整體提高了約1.5倍的剛性。
■將測(cè)量的基本操作凝縮到小型操作面板
可在機(jī)械坐標(biāo)系和工件坐標(biāo)系上利用操縱桿對(duì)各軸進(jìn)行移動(dòng)。在工件坐標(biāo)系上的移動(dòng)，易于接近傾斜面和深孔等。此外，由于移動(dòng)速度控制旋鈕在操作操縱桿時(shí)和驅(qū)動(dòng)CNC時(shí)也一直有效，因此，可切實(shí)地確認(rèn)安全和在狹窄場(chǎng)所進(jìn)行操作。
