概述
nEXT85型分子泵是成熟產(chǎn)品EXT75DX型分子泵的升級(jí)產(chǎn)品，技術(shù)性能進(jìn)一步提升，外形進(jìn)一步簡(jiǎn)潔美觀。
渦輪重新整體設(shè)計(jì)，以達(dá)到優(yōu)化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下，即能達(dá)到更高轉(zhuǎn)速，又能實(shí)現(xiàn)更高壓縮比。
nEXT85性分子泵的工作性能和服務(wù)擴(kuò)大了nEXT分子泵的應(yīng)用范圍，實(shí)現(xiàn)了智能安裝、現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，成為真正的領(lǐng)*產(chǎn)品。
性能特點(diǎn)
? 性能*，技術(shù)領(lǐng)*
? 型號(hào)眾多，易于用戶選擇
? 采用Edwards渦輪溫度直接測(cè)量技術(shù)，極大提高工作安全性能
? 前級(jí)接口和級(jí)間接口可根據(jù)用戶需求選擇（NW40、ISO63、CF63、ISO100）或定制
? 用戶可自行更換軸承和油盒
? CMSD技術(shù)使得震動(dòng)水平更低
? 智能化，通過USB口和Edwards nST軟件可實(shí)現(xiàn)對(duì)泵的監(jiān)測(cè)、
技術(shù)指標(biāo)
nEXT85 D | nEXT85 H | ||||||||||||
入口法蘭 | NW40 | ISO63 | CF63 | ISO100 | NW40 | ISO63 | CF63 | ISO100 | |||||
抽速 （l/s） | N2 | 47 | 84 | 86 | 47 | 84 | 86 | ||||||
He | 61 | 78 | 80 | 61 | 78 | 78 | |||||||
H2 | 49 | 60 | 60 | 49 | 54 | 54 | |||||||
Ar | 44 | 80 | 84 | 44 | 80 | 84 | |||||||
壓 縮 比 | N2 | >1011 | |||||||||||
He | 8×106 | 2×107 | |||||||||||
H2 | 2×105 | 5×105 | |||||||||||
Ar | >1011 | ||||||||||||
極限真空（mbar） | ISO：<5×10-9，CF：<5×10-10 | ||||||||||||
出口法蘭 | KF16 | ||||||||||||
放氣口/吹掃口 | 1/8英寸BSP母螺紋 | ||||||||||||
質(zhì)量（kg） | 2.9 | 3.0 | 4.4 | 3.2 | 2.9 | 3.0 | 4.4 | 3.2 | |||||
前級(jí)真空要求 （mbar） | N2 | 19 | 21 | ||||||||||
He | 19 | 21 | |||||||||||
H2 | 30 | 30 | |||||||||||
Ar | 22 | 21 | |||||||||||
*大連續(xù)入口流量（N2） | 42sccm[水冷（水溫15°C，環(huán)境溫度40°C）]，60sccm[空冷（環(huán)境溫度20°C）] | ||||||||||||
推薦前級(jí)泵 | nXDS15i | 入口*高溫度 | 120°C | ||||||||||
工作姿態(tài) | 垂直、水平（±2°） | 工作轉(zhuǎn)速 | 90000rpm | ||||||||||
90%轉(zhuǎn)速啟動(dòng)時(shí)間 | 80W：130s，120W：90 s | 冷卻方式 | 空冷/水冷 | ||||||||||
噪聲（1m處） | <34dB(A)±2.5 | *大耐受磁場(chǎng) | 3.5mT | ||||||||||
電源 | 24V~48V DC | 模擬輸出電壓 | 0V~10V DC | ||||||||||
工作溫度范圍 | 5°C ~40°C | 工作濕度范圍 | 10% ~90%RH | ||||||||||
儲(chǔ)存溫度范圍 | -30°C ~70°C | 工作*高海拔 | 2000m | ||||||||||
