技術(shù)背景
X-Max Extreme是超高分辨率FEG-SEM應(yīng)用的一個突破性的解決方案。這種的探測器次實現(xiàn)EDS在超低電壓(例如1-3kV)及很短的工作距離條件下采集信號來進(jìn)行元素分析，而用戶通常在該條件下進(jìn)行納米材料或材料表面的形貌觀察。
**的超高分辨率FEG-SEM為研究更小尺度納米結(jié)構(gòu)、界面和表面提供了全新的解決方案。然而,在短工作距離、超低電壓和束流條件下，其雖然能夠在棱鏡內(nèi)探測器獲得電子信號，卻沒有響應(yīng)的能譜以進(jìn)行元素表征。**X-Max Extreme改變了這種狀況，它專為在這類參數(shù)條件下工作而設(shè)計:
的幾何設(shè)計
為在更短的工作距離下工作而設(shè)計
為傳統(tǒng)側(cè)插能譜探頭設(shè)計的立體角——通常比X-MaxN150 立體角大5倍而傳感器到樣品距離僅為正常距離的一半
無窗下工作
結(jié)合立體角，相比其他大面積探頭，對低能X射線探測靈敏性可提高10-30倍
新的探頭電子器件極大地提高了極低能量X射線，同時擴(kuò)展了更高計數(shù)下的低能量分析性能
AZtecEnergy與**低電壓Tru-Q分析引擎整合為一體，實現(xiàn)低電壓下數(shù)據(jù)處理及分析
為低電壓下的譜峰剝離而改進(jìn)的TruMap
為了實現(xiàn)這種的幾何設(shè)計，X-MaxExtreme非圓形100平方毫米傳感器和無窗的設(shè)計已經(jīng)成功地用于X-MaxN 100TLE，以優(yōu)化TEM中的靈敏度。除了探測器特性之外，小尺寸電子陷阱設(shè)計使得探測器可以在7kV電壓下工作。
