特點(diǎn)：
1.8”圓晶MEMS釋放后的立式超臨界點(diǎn)干燥儀；
2.內(nèi)部高效隔熱的冷卻循環(huán)系統(tǒng)，使系統(tǒng)能夠迅速?gòu)氖覝亟档綄⒔?°C；
3.Post-Purge 過(guò)濾器容易更換及維護(hù)；
4.內(nèi)置SOTERTM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
5.的樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到6”、4"、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時(shí)間達(dá)到;
6.可以一次干燥5片直徑為8”的圓晶，更換樣品架，也可以一次干燥5片直徑6”、4”、3”、7.2”的圓晶或5片邊長(zhǎng)為10mm的方晶（提供HF兼容的樣品架）；
8.內(nèi)腔有照明燈，樣品室蓋子帶觀察窗，便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài)；
9.通過(guò)微處理控制器來(lái)保證自動(dòng)處理過(guò)程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性；
10.所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮；
11.可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性；
12.集成自動(dòng)控溫；
13.內(nèi)置圓盤(pán)裂片保證安全；
14.靜態(tài)壓力控制模塊，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；
15.0.4μm內(nèi)部過(guò)濾器系統(tǒng)輸送清潔的過(guò)濾后的LCO2到樣品室；
16.每個(gè)操作模式LED顯示，一目了然;
17.潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì)；
18.所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)；
規(guī)格：
1.外部尺寸：寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm)；
2.安裝占地尺寸：寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm)；
3.樣品室尺寸：內(nèi)徑8.50” × 深1.25”，樣品室容積：1162 ml;
4.溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃，壓力范圍：0 - 2000 psi；
5.LCO2的流速是通過(guò)帶游標(biāo)卡尺的微型微型計(jì)量閥門(mén)來(lái)控制；
6.120V/50-60HZ(可選其他電壓)；
標(biāo)準(zhǔn)配件：
1.高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長(zhǎng)；
2.外部LCO2過(guò)濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm），過(guò)濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接，安裝方便；
3.安裝工具；
4.防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣；
5.內(nèi)部的不銹鋼過(guò)濾系統(tǒng)和鍍鎳的過(guò)濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路、晶片和閥門(mén)
6.樣品室O型圈3個(gè)，樣品室照明燈2個(gè)，3A和8A保險(xiǎn)絲各2個(gè)；
7.5個(gè)Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括8、6、4、3、2和1.25英寸;
8.直徑為8、6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長(zhǎng)為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容；
9.流量計(jì)，可精確控制BLEED的排氣速率；
10.用戶手冊(cè)；
11.所有部件一年質(zhì)保。
