讀數(shù)的 ±0.125% — 更低的氣流校準不確定度
福祿克計量校準部的全新 molbox1+ 流量終端是對 molbloc/molbox 氣流校準系統(tǒng)的一次重大升級。molbox1+ 結(jié)合了 molbox 流量元件,可確保您獲得氣流計校準和控制器校準工作的不確定度。特別配置版 molbox1+S 可讓您在壓力下使用 molbloc-S 音速噴嘴流量元件,而且極其精準,大大擴展了產(chǎn)品的流量使用量程。
molbloc/molbox1+ 氣流校準系統(tǒng)是氣流計校準、和校準熱質(zhì)量流量控制器 (MFC)、轉(zhuǎn)子流量計、氣泡檢測儀以及其他流量測量設備的解決方案。molbloc/molbox 可開展實時測量,無需移動部件且獲得多個不同氣體與工作壓力的可溯源校準支持,因此能夠應對幾乎任何校準應用。molbloc/molbox 系統(tǒng)在很多行業(yè)內(nèi)得到廣泛應用,包括制藥、半導體、航空、環(huán)境監(jiān)測、發(fā)電、參考氣體配方、以及研究和標準實驗室。
不確定度參數(shù)
molbox1+ 的創(chuàng)新性讓 molbloc/ molbox1+ 系統(tǒng)實現(xiàn)了低的氣流測量不確定度。多個關鍵點的改善讓更低的不確定度成為可能,包括:
- 使用福祿克計量校準部專有的石英參考級壓力傳感器 (Q-RPT) 技術來精確測量絕壓和差壓。molbox1+ Q-RPT 是根據(jù)福祿克計量的校準部壓力傳輸標準在相同技術下專門定做的傳感器。
- 高級 molbloc 校準作業(yè)能夠使 molbloc 流量輸出線性化,從而更好地獲取準確度和可溯源性。
- 擴展 molbloc 模式化可提高 molbloc-L 層流元件在工作壓力量程內(nèi)的性能。
- 利用 NIST 參考液體熱動力與輸送屬性數(shù)據(jù)庫 (REFPROP) 來降低氣體屬性的不確定度。
- 使用福祿克計量校準部的動態(tài)重力流量標準來進行基礎質(zhì)量與時間質(zhì)量流量測量,并以此基礎不斷改善福祿克計量校準部的 molbloc 校準鏈。
現(xiàn)有兩種等級的 molbloc 流量元件校準作業(yè),方便您平衡不確定度和成本要求:
- 高等級:流量測量不確定度為讀數(shù)的 ±0.125%(帶 molbox1+)
- 標準等級:流量測量不確定度為讀數(shù)的 ±0.2%(帶 molbox1 或 molbox1+)
全新 molblocs 則配套以上兩種校準等級類型。現(xiàn)有 molblocs 可兼容不確定度為 ±0.2% 讀數(shù)的 molbox1+,無需作出任何調(diào)整。原有 molblocs 的升級服務可方便適配高級校準和測量,詳見以下說明。
福祿克計量校準部的不確定度參數(shù)較為保守,而且也進行過不確定度分析和計量支持。福祿克計量校準部的創(chuàng)新與設計仍將繼續(xù)以確保產(chǎn)品能夠為用戶在實際應用而不是假設環(huán)境下實現(xiàn)參數(shù)功能作為目標。
molbox1+S 音速噴嘴校準設備擴展了量程可調(diào)性,不含真空泵的 molbox1+S 是 molbox 1+ 的特定配置,使您能夠使用 molbloc-S 音速噴嘴流量元件來覆蓋更大量程(10:1 調(diào)節(jié)),而且無需配備昂貴的真空泵。molbox1+S 音速噴嘴校準設備配套上游 Q-RPT 壓力量程,可達 2 MPa (300 psia),可在大氣壓下(常規(guī)應用)在要測試的流量計的寬流量量程上游輕松使用 molbloc-S 元件。更廣的可調(diào)量程將使用更少的 molbloc 元件和附件,令校準系統(tǒng)配置變得更簡單。而且在增加高壓 molbloc 校準時還能大大拓展您原有 molbloc-S 元件的量程。
常壓下測試設備時 molbloc-S 的量程舉例
Molbloc-S 元件 | 配合 SP 校準和 molbox1 A700K 的可用量程 | 配合 HP 校準和 molbox1+S A2M 的可用量程 |
1E2-S | 15 到 50 slm* | 20 到 200 slm* |
5E2-S | 67 到 250 slm* | 100 到 1000 slm* |
*在用于常壓下設備上游時,配合 SP 校準下 molbloc-S 的可用流量受到音速流背壓要求所限制。流量值單位為標準升/分鐘,參考溫度 0℃。
molbox1+S 設計用于與 molbloc-S 音速噴嘴校準設備配合使用,因此僅針對絕壓測量進行配置,從而降低了成本。它還可降低流量系統(tǒng)的復雜性和總成本以及持續(xù)反復校準成本。
在多種應用中使用相同的 molbloc
多重 molbloc 校準作業(yè)現(xiàn)在可支持各類氣體。這就意味著您現(xiàn)在可以分別校準 molbloc 以便在高壓(受測設備上游)和低壓(受測設備下游)下使用,從而支持不同應用類型,無需再使用兩臺 molbloc 或手動加載不同 molbloc 校準文件。所有校準情況均保存在 molbloc EEPROM 當中,用戶只需從 molbloc+ 前面板中或通過 molbloc+ 遠程接口選擇校準類型即可。
用于 molbox 的 COMPASS® 以及全新的 COMPASS® for Flow 軟件帶來了自動化和更多性能
COMPASS 校準輔助軟件讓 molbloc/molbox 朝自動化校準又邁進了一步。COMPASS 與個人計算機配合 molbloc/molbox 開展工作,為流量設備的校準和測試創(chuàng)造了現(xiàn)代化全功能統(tǒng)包式系統(tǒng)。
COMPASS 負責設定受測設備 (UUT) 記錄(或者受測單元),定義并協(xié)助受測設備的測試進程、運行測試、采集參考值和測試數(shù)據(jù)、提供標準并自定義校準報告。質(zhì)量流量設備的氣體糾正因素和體積測定設備如轉(zhuǎn)子流量計的氣體密度糾正能夠輕松獲得支持,還可以選擇使用壓力和溫度測量的自動輸入壓力來動態(tài)計算和糾正流量。所有參考值、DUT 以及測試數(shù)據(jù)都會收集并存儲在標準限定文件當中,方便輕松下載到其他應用程序內(nèi)。
COMPASS for Flow 作為新款軟件,為流量校準作業(yè)帶來了原先只有福祿克計量校準部 COMPASS for Pressure 所能提供的特性。這些特性包括:
- 向福祿克 MET/TRACK® 軟件導出數(shù)據(jù)。
- 為需要自定義計算輸出指示的受測設備帶來增強型支持,一次提供特別通訊支持和多設備校準功能。
- 支持宏命令以應付幾乎無限制的測試系統(tǒng)自動化。
- 對附件設備如 MFC-CB(DHI 質(zhì)量流量控制器控制箱)更完整更靈活的支持。
升級輕松
從 molbox1 升級到 molbox1+ 既經(jīng)濟又簡便??稍诟5摽擞嬃啃什康姆颇峥怂构S進行軟硬件升級。為升級并獲取 molbox1+ 的全新參數(shù)性能與特性,福祿克計量校準部會為您的系統(tǒng)進行如下步驟的處理。
- 變更 molbox1+ 軟/硬件 可變更任何需要的部件來讓您的 molbox 等同于工廠生產(chǎn)的 molbox1+ 設備。molbox 內(nèi)置軟件刷寫至 6.0版。提供給您兩種選擇:升級原有 molbox1 以滿足 molbox1+ 的參數(shù)性能,或以舊換新購入全新 molbox1+,可對部分關鍵部件進行再利用,以此節(jié)降成本。
- molbox1 內(nèi)部壓力變送器的 Q-RPT 特性指標。原有兩款內(nèi)部壓力傳感器可在新的 molbox1+ 中使用。變送器的廣泛特性提高了自身的準確度并確保其符合 molbox1+ 的參數(shù)性能。
- molbloc 硬件升級。molbloc-L 或 molbloc-S 元件與 molbox1+ 一同使用需要對硬件進行修整以支持高級不確定度參數(shù)性能和新的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。
- 新的 molbloc 氣體校準。molblocs 已經(jīng)全模式化并已經(jīng)根據(jù)硬件升級要求進行校準,從而令用于 molbox1+、福祿克計量校準部改善型校準鏈已經(jīng)全新 molbloc 線性度和模式技術的增強式氣體屬性數(shù)據(jù)突顯優(yōu)勢效益。
我們會對整個系統(tǒng)進行升級并送還到您手上,并附帶參數(shù)性能與校準證書。新系統(tǒng)所占用的成本微乎其微。
常規(guī)參數(shù) | |
電源要求 | 85V ac 到 264V ac, 47 Hz 到 440 Hz, 功耗 18 VA |
標稱工作溫度量程 | 15℃ 到 30℃(59℉ 到 86℉) |
儲存溫度量程 | -20℃ 到 70℃(-4℉ 到 158℉) |
震動 | 符合 MIL-T-28800D 標準 |
重量 | 6.8 kg (15 lb) |
尺寸(寬 x 高 x 厚) | 約 32 cm x 12 cm x 30 cm (12.6 in x 4.7 in x 11.8 in) |
通訊端口 | RS-232 (COM1), RS-232 (COM2), IEEE-488.2 |
壓力連接(molbox1+ 與 molbloc) | 快速連接口,等同于 Swagelok® QM 串口 (SS-QM2-B200) |
流量量程 | <1 sccm 到 >5000 slm 請參見 molbloc-L 與 molbloc-S 的不同量程表 |
流量測量速率 | 1 秒 |
支持氣體 | 氮氣 (N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟代乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、氟環(huán)丁烷 (C4F8)、氙氣 (Xe) |
驅(qū)動閥選件 | (8) 12 V 輸出 各項輸出可在 12 V 時下降 500 mA, 1 A |
MFC 控制選件(模擬輸入/輸出) | 額定電壓量程: 0V dc 到 6V dc 輸入 0V dc 到 5V dc 輸出 額定電流量程: 4 mA 到 20 mA 輸入 4.01 mA 到 20 mA 輸出 準確度: ±0.1% FS(設定)、±0.05% FS(測量) |
壓力測量 | |
類型 | Q-RPT 特性石英參考級壓力變送器 — 使用如下機械擺動石英晶體 |
校準壓力量程(全刻度) | A700K:0 到 600kPa 絕壓(0 到 87 psia) |
測量不確定度(一年內(nèi)) | 絕壓 4 差壓(A700K 帶包裝) 差壓(A350K 帶包裝) |
溫度測量 | |
類型 | 帶 molbox1+ 電阻測量系統(tǒng)的 molbloc PRT |
量程 (FS) | 0 到 40℃ |
分辨率 | 0.01 °CC |
molbloc PRT 精度 | ±0.02℃(15 到 30℃) |
板載 | 參考電阻器 電阻測量 |
流量測量 | ||
molbloc-L 層流元件 | ||
| 標準 molbloc 校準 | 高級 molbloc 校準 |
范圍 | molbloc 全刻度的 0 到 100% | molbloc 全刻度的 0 到 100% |
分辨率 | 0.0015 % FS | 0.0015 % FS |
精度 1 | 讀數(shù)的 ±0.07% | 讀數(shù)的 ±0.07% |
穩(wěn)定性(一年內(nèi))2 | 讀數(shù)的 ±0.09%, | 讀數(shù)的 ±0.03% |
測量不確定度 3 | 讀數(shù)的 ±0.2% | 讀數(shù)的 ±0.125% |
帶 molbloc-S 音速流元件 | ||
標準 molbloc 校準 | 高級 molbloc 校準 | |
范圍 | molbloc 全刻度的 10% 到 100% | molbloc 全刻度的 10% 到 100% |
分辨率 | 0.0015 % FS | 0.0015 % FS |
精度 1 | 讀數(shù)的 ±0.06% | 讀數(shù)的 ±0.06% |
穩(wěn)定性(一年內(nèi))2 | 讀數(shù)的 ±0.05% | 讀數(shù)的 ±0.03% |
測量不確定度 3 | 讀數(shù)的 ±0.2% | 讀數(shù) 4 的 ±0.125% |
1 精確度:包含線性度、遲滯和可重復性。
2 穩(wěn)定性:典型 molbox 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時特定時間段內(nèi)從零到范圍值的變化情況由于穩(wěn)定性可以預測,特定 molbox 與 molbloc 的穩(wěn)定性可以根據(jù)經(jīng)驗進行判斷。
3 測量不確定度:molbox1+ 流量指示值與流經(jīng) molbloc 的流量真值的偏移量,包括精度、穩(wěn)定性和福祿克計量校準。對于不確定度的完整說明請參見技術說明 2011TN06B UNCERTAINTY ANALYSIS FOR FLOW MEASURED BY molbloc-L AND molbloc-S MASS FLOW TRANSFER STANDARDS(molbloc-L 與 molbloc-S 質(zhì)量流量傳輸標準所測量出的流量的不確定度分析)
4 正常使用 Autozero(自動清零)功能。對于一年不使用 Autozero 功能的情況,需在 Q-RPT 范圍內(nèi)再增加 0.005%(即 molbloc-S 的 0.005% FS,對 molbloc-S 標準校準或 molbloc-L 不確定度影響不大。)
所有不確定度參數(shù)報告均為 k=2