系統(tǒng)采用國際品牌真空獲得設(shè)備,高精度壓控配件,結(jié)構(gòu)緊湊、功能齊全。根據(jù)用戶需求提供專業(yè)貼心設(shè)計(jì)。 | |||
技術(shù)參數(shù): | |||
檢驗(yàn)室極限真空值: | · ≤1×10-6Pa; | 檢驗(yàn)室不烘烤極限真空值: | · ≤1×10-5Pa; |
檢驗(yàn)室烘烤溫度: | 室溫~200℃±5° | 設(shè)備漏率 | <1×10-10Pam3/s |
檢驗(yàn)室壓力調(diào)節(jié)范圍 | 1×10-5Pa~1×105Pa | 檢驗(yàn)室壓力調(diào)節(jié)精度 | ±0.01Pa |
· 擴(kuò)展不確定度Urel≤5%,(k=2),系統(tǒng)的綜合校正誤差度≤3%; |