PECVD, 支持定制,單片或卷對(duì)卷式PECVD。
可用于沉積類(lèi)金剛石、氧化硅、氧化鋁、氧化鈦、氮化物、硫化物等類(lèi)型薄膜。
可用于聚合物薄膜沉積。
可選13.56兆赫、20kHz等離子體。
片式PECVD參數(shù):
真空度10-3Pa,薄膜厚度:10nm-1um,溫度范圍:400攝氏度,基片大小:6英寸或根據(jù)用戶要求。設(shè)備尺寸:直徑350mm,高500mm。
價(jià)格35~55萬(wàn)人民幣。
卷對(duì)卷式PECVD參數(shù):
1分鐘100m,1.25m幅寬,卷厚度8um到50um,可用于食品包裝,起阻水阻氧作用。
參考價(jià)格500萬(wàn)人民幣左右。