型號 | PR300 | PR301 | |
模式 | DP模式,桶型 | ||
控制部 | 高頻輸出 | Max300W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
同調(diào)方式 | 手動2軸同調(diào)方式 | ||
反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室 | 耐熱玻璃 Φ118×160mm |
反應(yīng)氣體 | 1系統(tǒng)(氧氣)流量計 | ||
控制 | 自動減壓、自動密閉閥 | ||
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金 | 不銹鋼、特氟龍 | |
外形尺寸 | W438×D520×H556mm | W438×D520×H630mm | |
重量 | 約36kg | 約34kg | |
電源 | AC100V 7A |