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磁控濺射(共濺射)

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2023-01-14
  • 廠商性質其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量73
  • 人氣值541
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磁控濺射是物理氣相沉積技術(PhysicalVaporDeposition,PVD)的一種
磁控濺射(共濺射) 產(chǎn)品詳情

磁控濺射是物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition, PVD)的一種。一般用于制備金屬、半導體、絕緣體等薄膜材料,具有設備簡單、易于控制、效率高,面積大等優(yōu)點。

磁控濺射原理:通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。


技術參數(shù):

1 本底真空:10-7Torr到10-9Torr;

2 單基片設計,尺寸可定制,常規(guī)尺寸2-6英寸;

3 基片可旋轉并加熱:300℃/500℃/800℃;

4 最多可拓展8支磁控濺射靶槍,可共濺射;

5 靶槍角度可調,濺鍍距離可調,可升級強磁靶;

6 可選配多路氣路;

7 防交叉污染隔板設計;

8 可配備離子束輔助沉積;

9 可配備樣品預清洗功能;

10 可配備快速進樣室;

11 可配備自動壓力控制系統(tǒng);

12 全自動操作系統(tǒng);



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