Cube™ CDGsci
INFICON Cube 電容式膜片儀器是確的（≤ 0.025 % Rd 精度; ≤ 50
ppm FS 再現(xiàn)性) 和的真空計 (< 5 ppm FS/°C 溫度穩(wěn)定性; < 70 ppm FS/長期穩(wěn)定性). Cube
是設計作為純參考設備用于標準化真空測量系統(tǒng), 它是真空科研應用的選擇. 經過驗證的 INFICON 溫度控制的, 抗腐蝕超純陶瓷傳感器是
Cube出色性能的核心. Cube 通過無線或有線以太網接口連接的 20 比特模擬輸出和 RS232-C, TCP / IP 和 HTML
數(shù)字輸出的方式為現(xiàn)代通訊和用戶靈活性設定新的標準.
每臺設備都有由主要產品研究員簽字的質保書。存放在一個可重復使用的有堅硬外殼的手提箱交付使用或運到校準實驗室以強調其專業(yè)性。
益處
- 可靠的高精確壓強測量 –陶瓷技術
- 完整的穩(wěn)定輸出 –由 PTB 驗證
- 靈活的通訊 –各種現(xiàn)代化的接口
- 所有功能集成化– 無需控制器
- 直接裝入真空室 –化的重心
- 運輸無需隔離閥
典型應用
- 傳遞標準
- 主要校準儀
- 研究
- 內部標準
零件號
規(guī)格
| 類型 | 1000 Torr | 100 ... 1 Torr | 100mTorr | |
|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.025 | 0.025 | 0.05 |
| 溫度效應 | ||||
| 零點 | percent FS/°C | 0.0005 | 0.0005 | 0.005 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.001 | 0.001 | 0.01 |
| 壓力， | bar (absolute) | 3 | 2.5 | 1.5 |
| 讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 溫度 | ||||
| 運行（環(huán)境） | °C | +10 … +40 | +10 … +40 | +10 … +40 |
| 貯存 | °C | –10 … +50 | –10 … +50 | –10 … +50 |
| 電源電壓 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | ||||
| 加熱時 | W | ≤15 | ≤15 | ≤12 |
| 運行溫度 | W | ≤10 | ≤10 | ≤8 |
| 輸出信號（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反應時間 (2) | ms | 100 | 100 | 100 |
| 保護等級 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
| 標準 | ||||
| CE 合規(guī) | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| SEMI 合規(guī) | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
| 電氣連接 | D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC | D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC | D-sub, 15 pole, male; 2 x LEMO Coax; Ethernet FCC | |
| 設定點 | ||||
| 設定點數(shù)量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 繼電器觸點 | V (dc)A (dc) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
| 滯后 | percent FS | 1 | 1 | 1 |
| 診斷端口 | ||||
| 協(xié)議 | Web pages, REST services, RS232-ASCII | Web pages, REST services, RS232-ASCII | Web pages, REST services, RS232-ASCII | |
| 讀數(shù) | pressure, status, ID | pressure, status, ID | pressure, status, ID | |
| 設置 | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset | |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) | |
| 內部容積 | ||||
| 內部容積 DN 16 ISO KF | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內部容積 DN 16 CF-R | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 內部容積 8 VCR® | cm3 (in.3) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) | 4.2 (0.26) |
| 重量 | ||||
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 1670 | 1670 | 1670 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 1670 | 1670 | 1670 |
| 重量 8 VCR® | g | 1670 | 1670 | 1670 |
(1) 在25℃操作溫度下的非線性、滯后和可重復性在操作2小時后不丑溫度影響。
(2) 提高 10 … 90% FS
。(3) 僅針對壓力控制類型
。(4) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵
