該系列設備均為精密的超高真空設備。主要適用于高校實驗室、科研機構(gòu)，科研院所、工廠實驗室進行科研試驗、工藝研究及樣品制備。
高真空鍍膜機：
- 用于金屬及非金屬薄膜的制備及工藝研究，包括金、鋁、銅、鐵及OEL有機膜等材料。
- 極限真空度可達10-5 Pa量級。
- 設備分類:高真空蒸發(fā)鍍、高真空磁控濺射鍍、高真空離子濺射鍍、真空化學氣相沉積
- 用于高壓絕緣材料的絕緣性能研究。
- 利用光譜分析的原理，結(jié)合超高真空環(huán)境。
- 極限真空度可達10-5 Pa量級。
- 具備深冷工作環(huán)境（液氮溫度）。
- 用于金屬及非金屬光學性能的工藝研究。
- 利用光譜分析的原理，結(jié)合超高真空環(huán)境。
- 極限真空度可達10-5 Pa量級。
- 具備1600℃的高溫工作環(huán)境。
- 用于激光的特性研究。
- 極限真空度10-3 Pa量級。
- 氫氣保壓在工作要求范圍可達一年以上。
- 具備深冷工作環(huán)境（液氮溫度）
- 用于在超高真空環(huán)境下對試驗樣品的制備、保存及物理化學性能的研究。
- 極限真空度可達10-6 Pa量級。
- 根據(jù)需要，可提供高溫、低溫工作環(huán)境。
- 根據(jù)需要，可提供各種方式的自動機械手。
- 根據(jù)需要，可提供各種特殊實驗功能。
哈爾濱工業(yè)大學、哈爾濱理工大學、吉林大學等。
