TEUS-S100、TEUS-S200、TEUS-S400 激光驅(qū)動高亮EUV光源-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

在專業(yè)、敬業(yè)、拼搏的理念指導下，不斷進取學習，時刻關注域科學的發(fā)展和創(chuàng)新，北京眾星聯(lián)恒科技有限公司致力于引進的X射線產(chǎn)品、及新孵化*產(chǎn)品給中國的同步輻射，研究所，高校及制造業(yè)的客戶。

我司是德國INCOATEC公司、美國XOS（光學組件）、德國X-SPECTRUM、德國GREATEYES、德國Microworks、捷克ADVACAM、及英國MSI輝光放電質(zhì)譜儀的中國區(qū)總代理，產(chǎn)品線包含X射線源、X射線光學元件、X射線探測器、X射線系統(tǒng)、OPCPA飛秒激光器和輝光光放電質(zhì)譜儀等。我司同時致力于給客戶提供x射線解決方案，并于2016年推出了具有自主知識產(chǎn)權的桌面超快X射線診斷裝置，具有超微、超亮、高信噪比和高穩(wěn)定性的特點，在物質(zhì)超快過程研究、精細分辨成像等方面具有重要的應用價值。

我們堅持以客戶需求為導向，以專業(yè)、專注為根本，以高效服務為核心，緊密跟進學科的發(fā)展，努力從客戶處學習并豐富完善自己的技術儲備，解決客戶的實際需求，以前沿技術驅(qū)動的創(chuàng)新獲取公司發(fā)展的空間，逐步成長為優(yōu)秀的X射線領域及的材料分析系統(tǒng)方案提供商。

我們敬畏知識不斷進步所帶來的變化和革新，堅信：高品質(zhì)的產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)的服務是獲得客戶認可的標準！

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激光驅(qū)動高亮EUV光源

激光驅(qū)動高亮EUV光源產(chǎn)品詳情

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緊湊型高亮極紫外光源介紹及應用

TEUS-LPP EUV光源基于快速旋轉(zhuǎn)液態(tài)金屬靶，這種新型LPP靶結合了傳統(tǒng)的碎片減緩技術，是清潔極紫外光源的解決方案。

特征優(yōu)勢

將液滴碎片重定向遠離輸入（激光）和輸出（EUV）窗口
用于高重復率激光系統(tǒng)（高達1Mhz）的不受干擾的靶材表面
由于靶材是連續(xù)的，所需的同步最小
高亮度，高通量，優(yōu)秀的空間穩(wěn)定性
的正常運行時間
高占空比，交鑰匙作業(yè)

高速轉(zhuǎn)速：液滴的重定向

高轉(zhuǎn)速允許初始速度與目標線速度相當?shù)囊旱蔚慕撬俣确植及l(fā)生劇烈變化（受版保護的關鍵要素、一般原理和技術）

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

高旋轉(zhuǎn)速度導致的液滴減緩效果的演示

	EUV收集角（sr）	激光平均功率（W）	脈寬（ns）	重頻（kHz）	等離子體尺寸（μm）	亮度（W/mm²sr）	EUV功率（mW）	收集器壽命
TEUS-S100	0.05	100	1.5	25	60	110	5	>1年
TEUS-S200		200		50		220	10	>半年
TEUS-S400		400		100		450	20	>半年

典型應用

掩膜及表面檢測
圖形化掩膜檢測
掩膜空間像檢測
材料科學
晶圓檢測
極紫外掃描光刻工藝鏈中的極紫外光學器件檢測

關鍵詞：收集器

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
艾德克斯ITECH 微功耗量測以及材料研究精密源表 IT2805 200V1.5A20W	面議	深圳市	深圳市賽儀歐電子有限公司	2025-03-04	在線詢價
自動測量圖像尺寸設備	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2025-03-09	在線詢價
羅卓尼克USB接口水活性快速測量探頭	面議	無錫市	無錫徽科特測控技術有限公司	2025-03-10	在線詢價
激光功率測量系統(tǒng) LPMS	面議		上海倍藍光電科技有限公司	2025-03-10	在線詢價
水分活度測量儀廠商	面議	常州市	常州金壇泰納儀器廠	2025-03-10	在線詢價
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