住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/(n),是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶(hù)的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀器
應(yīng)用:
1.半導(dǎo)體器件
2.Si/復(fù)合晶圓
3.FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
4.光罩
5.發(fā)光二極管
具體規(guī)格
臭氧氣體流速 | 1.5L/min to 5L/min |
臭氧氣體供應(yīng)壓力 | *大0.3MPa |
冷卻水溫度 | 20°C±2°C |
氮摻雜比 | 0.1%(volume)against oxygen |
尺寸 | W483mm x D453mm x H266mm |
重量 | 30 到 40kg |
功率 | 200-220VAC, 3-phase |
特征:
高濃度;高達(dá)400g/m3(N),高壓;*大0.3Mpa
19英寸機(jī)架尺寸標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)
高壓耐受,長(zhǎng)壽命放電單元
快速啟動(dòng),快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測(cè)儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用
管道材料;從316LSS或PFA中選擇