以共聚焦技術(shù)為原理的共聚焦顯微鏡，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。
中圖儀器VT6000共聚焦測量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學檢測儀器。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
性能特點
1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設備主機之內(nèi)，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動，實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設計；
2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；
3）操作便捷：采用全電動化設計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果；
4）采用自研的電動鼻輪塔臺，并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。
共聚焦顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細節(jié)，顯示出精細的細節(jié)圖像。它具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現(xiàn)更準確的操作。
產(chǎn)品應用
近年來，隨著科技的不斷發(fā)展，芯片制造業(yè)對產(chǎn)品的質(zhì)量要求越來越高，因此要求有更精密的測量儀器來保證產(chǎn)品質(zhì)量，這樣才能讓制造業(yè)企業(yè)具有更強的競爭力。中圖的精密測量儀器通過自主的軟件算法，結(jié)合精密設備的生產(chǎn)能力，把控著產(chǎn)品品質(zhì)。
VT6000共聚焦測量顯微鏡以針孔共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測，對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。
