OTF-1200X-5S是一款CE認證的小型開啟式管式爐，其工作溫度可以達到1000℃。爐管Φ130mm的高純石英管。設備配有一對不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護環(huán)境下對樣品進行熱處理。對于控溫系統(tǒng)，可設置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐最多可對4英寸的晶片進行退火。
| 技術參數(shù) | |
|---|---|
| 爐體結構 | ● 雙層殼體結構 ● 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，保證溫度均勻性 ● 此款管式爐也可做為立式爐使用（點擊圖片查看詳細資料）   |
| 功率 | 3KW |
| 電壓 | 220VAC 50/60Hz |
| 工作溫度 | 1000℃（<1小時）> |
| 連續(xù)工作溫度 | 900℃ |
| 加熱速率 | 20℃/min |
| 加熱區(qū) | ● 加熱區(qū)長度：300mm ● 恒溫區(qū)長度： ● 100 mm (+/-1oC ) ● 140 mm (+/-2oC ) |
| 溫控系統(tǒng) | ● 采用PID方式調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序 ● 帶有超溫和斷偶保護 ● 可選購MTS02-B控溫模塊，可用電腦設置和顯示溫度程序   |
| 歐陸儀表（可選） | 可選購歐陸3504溫控儀表，可與LABVIEW軟件比配  |
| 控溫精度 | +/- 1°C |
| 爐管 | ● 石英管，尺寸：130mm O.D x 120mm I.D x 640mmL ● 配有2個氧化鋁管堵，使用設備時應放在爐管兩端，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性 ● 可選購石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空      |
| 真空密封法蘭 | ● 配有一對不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封 ● 右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵 ● 左端法蘭上安裝有機械壓力表，接口為1/4英寸卡套接頭，用于連接氣瓶 ● 真空度：10-2torr (采用機械泵) ● 可選：5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架 ● 水冷法蘭通入冷卻水后，設備溫度可以達到1100℃（<1小時）>   |
| 真空壓力表 | ● 安裝有一機械壓力表，測量范圍為-0.1～0.15MPa ● 可選購數(shù)顯防腐真空計當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進行系數(shù)轉換，測量范圍為3.8x10-5 -1125 Torr   |
| 鎧裝熱電偶（可選） | ● 可選購鎧裝K型熱電偶，通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部，測量樣品的實際溫度 ● 可選購一個法蘭支撐架，防止爐管轉動      |
| 凈重 | 48 Kg |
| 質保期 | 一年質保期，終生維護（不包含爐管，密封圈和加熱元件） |
| 質量認證 | ● 認證 ● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認證 ● 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證 |
| 應用注意事項 | ● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
