TOKYOKEISO東京計(jì)裝UCUF-02M液體微小流量超聲波流量計(jì)

TOKYOKEISO東京計(jì)裝UCUF-02M液體微小流量超聲波流量計(jì)

液體微小流量超聲波流量計(jì)UCUF-02M，SFC-010L，高溫液體用小口徑超聲波流量計(jì)UCUF-04MT，SFC-010T

產(chǎn)品介紹

UCUF-02M/SFC-010L是液體用超聲波流量計(jì)。高精度測量純水、超純水、各種化學(xué)品等的微小流量。測量管的直徑為 2.5 mm，涵蓋了傳統(tǒng) UCUF 型超聲波流量計(jì)難以測量的廣泛微小流量范圍。所有接液部件均采用半導(dǎo)體行業(yè)用PFA制成，具有理想的清潔結(jié)構(gòu)，沒有移動(dòng)部件，也沒有容易積液的密封部件，非常適合半導(dǎo)體制造設(shè)備等要求高清潔度的工藝.流量計(jì)的入口和出口是標(biāo)準(zhǔn)尺寸的管子，可以連接到各種 PFA 接頭。

特征

小口徑
超聲波流量計(jì)成功地測量了內(nèi)徑為φ2.5mm的管道中超聲波的傳播，而這種管道很難測量超聲波的傳播。

分鐘流量
最小滿量程設(shè)置范圍：0 至 10 mL/min

電磁兼容標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

測量運(yùn)動(dòng)粘度高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體

具有理想清潔結(jié)構(gòu)的探測器

耐腐蝕且易于安裝

準(zhǔn)確度：示值的±1%以內(nèi)（流速25mL/min以上時(shí)）

主要用途

半導(dǎo)體制造過程中純水和超純水的流量測量

各種藥液注入工藝的流量測量

強(qiáng)腐蝕性液體的流量測量

CMP 漿料流量測量

其他中小口徑過程液體流量測量

適用于清洗設(shè)備和 CMP 設(shè)備的流量測量和控制

UCUF-04MT型高溫超聲波流量計(jì)是UCUF系列超聲波流量計(jì)的改進(jìn)版本，在測量超純水和各種化學(xué)液體的小流量方面具有良好的記錄。所有接液部件均采用特級(jí) PFA 模壓產(chǎn)品制成，沒有活動(dòng)部件，也沒有 O 形圈等容易積液的機(jī)械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計(jì)非常適用于要求清潔度的過程，例如半導(dǎo)體制造設(shè)備。該轉(zhuǎn)換器是薄型 DIN 導(dǎo)軌安裝型。通過采用數(shù)字信號(hào)處理器（DSP）等電子技術(shù)，顯著降低了流體中氣泡的影響，這是半導(dǎo)體工藝、化學(xué)液體工藝等中的一個(gè)問題。此外，通過提高時(shí)間分辨率和加快信號(hào)處理速度，與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，低流量范圍內(nèi)的測量穩(wěn)定性得到了提高。

特征

節(jié)省能源和空間

SFC-010T 轉(zhuǎn)換器是傳統(tǒng)轉(zhuǎn)換器的纖薄版本。

高速計(jì)算

SFC-010T 具有 10 ms 的高速采樣處理。

大大提高了抗氣泡性

如果流體中含有氣泡，超聲波的傳播將受到阻礙，流量測量將無法進(jìn)行。憑借豐富的現(xiàn)場經(jīng)驗(yàn)和DSP信號(hào)處理技術(shù)，我們成功地檢查了接收到的波形，檢測出氣泡的影響，將其排除在流量計(jì)算之外，消除了因氣泡影響導(dǎo)致的異常輸出。

符合標(biāo)準(zhǔn)

CE（符合 EMC 指令 IEC61326-1：2006）
符合 RoHS

探測器

兼容 180°C 的流體溫度。
可以測量高達(dá) 40.0 [mm2/s] 的高粘度流體。
具有理想清潔結(jié)構(gòu)的檢測器。
耐腐蝕且易于安裝。

轉(zhuǎn)換器功能

零位檢查功能：通過在測量前執(zhí)行零位檢查，可以在被測流體的條件下開始測量。
參數(shù)設(shè)置：各種參數(shù)可通過專用配置軟件進(jìn)行設(shè)置。（另需RS-485通訊轉(zhuǎn)換器。）
流量顯示：配備7段紅色LED（4位）顯示器，顯示流量和狀態(tài)。

主要用途

半導(dǎo)體制造過程中的高溫化學(xué)液體流量測量

各種化學(xué)供液過程的流量測量（需要測量的化學(xué)液體請(qǐng)?zhí)崆奥?lián)系我們）

分鐘流量測量