FPA-3030i5+步進器旨在滿足并超越物聯(lián)網(wǎng)和MEMS制造商的要求。
FPA-3030i5+步進器為IoT和MEMS制造商處理各種基板和材料提供了靈活性。FPA-3030i5+步進器能夠提供350nm的成像分辨率，同時保持小于或等于40nm的疊加精度和等于或超過每小時104個晶圓的吞吐量。
*IoT：“物聯(lián)網(wǎng)”或IOT是由傳感器、執(zhí)行器、數(shù)據(jù)網(wǎng)絡和數(shù)據(jù)處理硬件和軟件組成的復雜系統(tǒng)，無需人工交互即可收集、傳輸、評估和處理數(shù)據(jù)。
**MEMS：“微機電系統(tǒng)”或MEMS是具有集成傳感器、執(zhí)行器和電子電路的微米級機械結(jié)構(gòu)的設備。
FPA-3030i5+步進器配備高分辨率i線投影鏡頭
FPA-3030i5+i-line步進器配備1:5縮小放大率投影鏡頭，可在22mmx22mm視場內(nèi)提供NA0.63成像。350nm或更小的FPA-3030i5+分辨率將滿足或超過大多數(shù)（如果不是全部）物聯(lián)網(wǎng)和MEMS應用的量產(chǎn)成像要求。
FPA-3030i5+步進器享有佳能長期的FPA-3000平臺步進器的高可靠性
自1994年推出FPA-3000i4以來，F(xiàn)PA-3000平臺步進器一直受到客戶的歡迎，并且在可靠性方面有著良好的記錄。FPA-3030i5+步進器以FPA-3000的成功為基礎，同時提供改進，包括6軸非接觸式晶圓載物臺和改進的聚焦系統(tǒng)，以提高產(chǎn)量。
與FPA-3000i5標線和配方的兼容性允許有效使用現(xiàn)有設施和資產(chǎn)。
FPA-3030i5+晶圓進料器和分劃板更換器系統(tǒng)與各種基板類型兼容
FPA-3030i5+晶圓進料器能夠支持從100毫米（4英寸）到200毫米（8英寸）的各種晶圓尺寸。還提供可選的多晶圓套件，允許步進器在2種晶圓尺寸之間快速切換。
FPA-3030i5+分劃板更換器可配置為5英寸或6英寸分劃板處理，允許重復使用現(xiàn)有分劃板。
