JXA-8230 電子探針顯微分析儀 可以安裝通用性強、使用方便的能譜儀X射線探測器，組合使用WDS和EDS，能提供無縫、舒適的分析環(huán)境。
| 檢測元素范圍 | WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～U |
| X射線檢測范圍 | WDS檢測的波長范圍: 0.087～9.3nm, EDS EDS檢測的能量范圍: 20keV |
| 分光譜儀數量 | WDS: 1～5道可選、EDS: 1臺 |
| 樣品尺寸 | 100mm × 100mm × 50mm（H） |
| 加速電壓 | 0～30kV（以0.1 kV為步長） |
| 束流電流范圍 | 10-12 ～ 10-5 A |
| 束流電流穩(wěn)定度 | 5%/h, ±0.3%/12h（W） |
| 二次電子分辨率 | 6nm（W）, 5nm（LaB6）*2 （W.D. 11mm, 30kV） |
| 掃描倍率 | ×40 ～ ×300,000（W. D. 11mm） |
| 掃描圖像分辨率 | 5,120× 3,840 |
| 彩色顯示器 | EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024 |
| 光學顯微鏡 | |
| 分辨率 | ～1um |
| 焦深 | 1um |
| 真空系統(tǒng) | 機械泵、分子泵、離子泵 *2 |
| 真空度 | 樣品室: 優(yōu)于8.0 x 10-4Pa, 電子槍: 優(yōu)于9.0 x 10-5Pa |
