V-HG240三維測(cè)振系統(tǒng)特點(diǎn)：
（1）、非接觸式激光儀器，可測(cè)振動(dòng)、靜態(tài)偏轉(zhuǎn)、表面輪廓
（2）、三維測(cè)量：平面外和平面內(nèi)測(cè)量
（3）、高頻率：標(biāo)準(zhǔn)高達(dá)240MHz，可達(dá)更高
（4）、高分辨率偏轉(zhuǎn)測(cè)量
（5）、適用于粗糙和光滑的表面
（6）、全視場(chǎng)測(cè)量
（7）、振動(dòng)分析和靜態(tài)分析兩種操作模式
（8）、強(qiáng)大且易于上手的硬件和軟件
V-HG240三維測(cè)振系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域：
◇ 微機(jī)電系統(tǒng)和納米機(jī)電系統(tǒng)
◇ 微結(jié)構(gòu)
◇ 轉(zhuǎn)換器
◇ 振動(dòng)模式分析
◇ 反應(yīng)譜
◇ 壓力傳感器
◇ 加速度計(jì)
◇ 陀螺儀
◇ 碰撞傳感器
◇ 真空室測(cè)量
◇ 熱變形測(cè)量
◇ 老化效應(yīng)分析
◇ 研究與開(kāi)發(fā)
◇ 質(zhì)量和生產(chǎn)控制
V-HG240三維測(cè)振系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格：
V-HG240三維測(cè)振系統(tǒng)測(cè)量原理：
V-HG240三維測(cè)振系統(tǒng)用一束擴(kuò)展的激光束照亮目標(biāo)區(qū)域，同時(shí)通過(guò)一個(gè)顯微物鏡將物體成像到CMOS傳感器陣列上。對(duì)于平面外測(cè)量，一束內(nèi)部對(duì)照光束被用來(lái)干涉物體反射的光束。對(duì)于平面內(nèi)測(cè)量，兩束激光束被用來(lái)照亮物體。對(duì)于振動(dòng)測(cè)量，系統(tǒng)計(jì)算機(jī)使用信號(hào)發(fā)生器運(yùn)行一個(gè)激發(fā)裝置，目標(biāo)物體在一個(gè)頻率范圍內(nèi)被激發(fā)。振幅邊界能夠?qū)崟r(shí)顯示，同時(shí)的記錄算法被用來(lái)計(jì)算數(shù)值振幅和相位圖。對(duì)于靜態(tài)偏轉(zhuǎn)測(cè)量，V-HG240基于相位移動(dòng)來(lái)記錄和計(jì)算被測(cè)量物體的靜態(tài)偏轉(zhuǎn)。
1. 數(shù)值記錄
數(shù)值操作模式提供了振幅、相位和靜態(tài)偏轉(zhuǎn)的三維數(shù)值測(cè)量。對(duì)于振動(dòng)測(cè)量，只需從數(shù)秒到幾分鐘的時(shí)間就能展示一份全視場(chǎng)高清分辨率的數(shù)值記錄。對(duì)于靜態(tài)和準(zhǔn)靜態(tài)測(cè)量，數(shù)值操作模式搜尋從時(shí)間t到時(shí)間(t+?t)范圍內(nèi)的表面偏轉(zhuǎn)，?t的范圍可從幾秒到幾分鐘。這意味著當(dāng)物體在記錄期間以有限的速度移動(dòng)時(shí)，也能夠連續(xù)監(jiān)測(cè)并測(cè)量偏轉(zhuǎn)。
2. 動(dòng)態(tài)測(cè)量
V-HG240三維測(cè)振系統(tǒng)實(shí)時(shí)測(cè)量整個(gè)成像區(qū)域，提供可靠的全視場(chǎng)數(shù)據(jù)，包括振動(dòng)物體的振幅和相位。無(wú)需掃描區(qū)域，并且所有表面上所有點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集同時(shí)完成。平面內(nèi)振動(dòng)和平面外振動(dòng)的標(biāo)準(zhǔn)是振幅噪聲基底低于0.1nm且高達(dá)240MHz的頻率。V-HG240三維測(cè)振系統(tǒng)可以針對(duì)更高的頻率進(jìn)行定制。
3. 實(shí)時(shí)分析
V-HG240三維測(cè)振系統(tǒng)為靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量提供兩種基本操作模式。在實(shí)施操作模式下，全視場(chǎng)測(cè)量每秒更新30-100次，偏轉(zhuǎn)圖以等偏轉(zhuǎn)輪廓的定量方式呈現(xiàn)。任何由激發(fā)頻率，邊界條件或施加負(fù)荷導(dǎo)致變化引發(fā)的偏轉(zhuǎn)改變都會(huì)立刻展示在顯示器上。
4. 靜態(tài)偏轉(zhuǎn)測(cè)量
V-HG240三維測(cè)振系統(tǒng)測(cè)量并展示全視場(chǎng)偏轉(zhuǎn)圖，偏轉(zhuǎn)分辨率大約為1-5nm，視空間分辨率的需要而定。靜態(tài)偏轉(zhuǎn)范圍為幾微米。
