| 技術(shù)參數(shù) | Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2、Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、P△q |
| 測量原理 | 電感式 |
| 測量范圍 | 400μm |
| 針尖半徑 | 5μm |
| 針尖材料 | 金剛石 |
| 觸針測力 | 4mN |
| 觸針角度 | 90° |
| 導(dǎo)頭縱向半徑 | 45mm |
| 驅(qū)動行程 | 19mm |
| 量程 | ±25μm、±200μm |
| 分辨力 | 0.001μm、0.008μm |
| 濾波方式 | GAUSS、2RC、ISO13565 |
| 取樣長度 | 0.25mm、0.8mm、2.5mm、自動 |
| 評定長度 | 1L～5L(可選，L為取樣長度) |
| 示值誤差 | ±10% |
| 示值重復(fù)性 | ≤6% |
| 工作環(huán)境溫度 | 0oC～40oC |
| 外型尺寸及重量 | 主機：155.4mm×75mm×53mm，約580g、驅(qū)動器：120.5mm×25.5mm×28.5mm，約165g |
| 電源 | 內(nèi)置電池：鋰離子充電電池; 電源適配器：輸入：100V240VAC，50/60Hz; 輸出：9V，3A。 |
