詳情介紹：
特殊長度
- 可以進(jìn)行非接觸式，非破壞性的厚度測量
- 折反射系統(tǒng)（可以從一側(cè)接觸進(jìn)行測量）
- 高速（*高速度5kHz）和實(shí)時(shí)評估成為可能
- 實(shí)現(xiàn)高穩(wěn)定性（重復(fù)精度不超過0.01％）
- 抗粗糙性強(qiáng)
- 可以應(yīng)付任何距離
- 支持多層結(jié)構(gòu)（*多5層）
- 內(nèi)置NG數(shù)據(jù)排除功能
- 可以進(jìn)行距離（形狀）測量（內(nèi)置傳感器隨附的選件） *
*通過在測量范圍內(nèi)的光學(xué)距離測量
要點(diǎn)1：采用原創(chuàng)技術(shù)
實(shí)現(xiàn)高波長分辨率，同時(shí)支持廣泛的膜厚度。
大冢電子的技術(shù)封裝在緊湊的機(jī)身中。
要點(diǎn)2：高速支持
它
也是工廠生產(chǎn)線的理想選擇，因?yàn)樗梢?*的間距測量運(yùn)動(dòng)的物體。
第三點(diǎn)：支持各種表面條件的樣品
約有φ20μm的微小斑點(diǎn)，
可以在各種表面條件下測量樣品的厚度。
Point4：與各種環(huán)境兼容
由于可以從*遠(yuǎn)200 mm的距離進(jìn)行測量，因此
可以根據(jù)目的和應(yīng)用構(gòu)建測量環(huán)境。
測量項(xiàng)目
- 厚度測量（5層）
用
- 各種厚膜構(gòu)件的厚度
- 產(chǎn)品信息
- 規(guī)格
- 基本配置
- 測量例
相關(guān)信息
相關(guān)產(chǎn)品
| | 光譜干涉晶圓測厚儀SF-3 |
| | 嵌入式膜厚監(jiān)測儀 |
| | 顯微光譜儀OPTM series |
| | 膜厚計(jì)FE-300 |
| | 光譜橢偏儀FE-5000 / 5000S |
| | マルチチャンネル分光器 MCPD-9800/6800 |
