有 機(jī) 空 穴 傳 輸 材 料 涂 布 |
紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī) | VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spin coater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過(guò)程中圖形的顯影及表面涂覆工藝，是一款上蓋可以加熱的勻膠機(jī)、顯影機(jī)，在勻膠或顯影過(guò)程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量低。工作過(guò)程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上，使溶液在樣片表面均勻分布，有利于薄膜和顯影過(guò)程的順利進(jìn)行。本機(jī)電機(jī)部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨(dú)立電源進(jìn)行控制，電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進(jìn)行控制，轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM范圍內(nèi)可調(diào)。涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段，在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、顯影機(jī)、spin coater啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對(duì)于樣件的固定，采用橡膠吸盤(pán)和磁力鋼片模板，不僅樣件取放自如，而且操作簡(jiǎn)便。此外，在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。 | ||
主要特點(diǎn) | 1、采用橡膠吸盤(pán)和磁力鋼片模板固定樣件，不僅樣件取放自如，而且操作簡(jiǎn)便；橡膠吸盤(pán)和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。 | |||
基 本 參 數(shù) | 1、電源：AC220/110V、50/60Hz 3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能: 雙轉(zhuǎn)速及涂膜時(shí)間分別設(shè)置，在啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(滴涂膠液)，然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定（±1%），涂膜物質(zhì)均勻。 轉(zhuǎn)數(shù)1：100-2000 RPM有效
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安裝條件： 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
產(chǎn)品規(guī)格： 主機(jī)外形尺寸500mm（長(zhǎng)）×410mm（寬）×330mm（高），
可選配件： 橡膠吸盤(pán) 磁力鋼片模板（可定制） | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件： 1 磁性鋼片模板（Ф160mm） 1個(gè)
2 吸盤(pán)(Ф153mm) 1個(gè)
3 溫控箱 1臺(tái)
4 蠕動(dòng)泵 6臺(tái) | ||||
