顯影機(jī)
顯影是指用還原劑把軟片或印版上經(jīng)過曝光形成的潛影顯現(xiàn)出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現(xiàn)出來的同時，獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機(jī)是將曬制好的印版通過半自動和全自動的程序?qū)@影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設(shè)備。
產(chǎn)品介紹
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠顯影工藝
設(shè)備配置:2套勻膠(顯影)單元、4套熱(冷)板單元
可選8寸以下多種wafer尺寸全自動勻膠/顯影,烘烤工藝處理
整機(jī)性價比高,適合產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線
根據(jù)客戶工藝需求可加裝等離子風(fēng)棒等模塊
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊
產(chǎn)品參數(shù)
主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-5000rpm
主軸加速度范圍:20-20000rpm/s
主軸轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
熱盤溫度范圍:50℃-200℃
熱盤溫度均勻性:±1%
適用光刻膠粘度:0-1000Cp(可選高粘度光膠機(jī)臺)
光刻膠或顯影液管路:≤3路
設(shè)備尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)
