PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-儀表網(wǎng)

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

河南諾巴迪材料科技有限公司是集研究?開(kāi)發(fā)?制造?經(jīng)營(yíng)為一體的*創(chuàng)新型企業(yè)，產(chǎn)品已經(jīng)遍布亞歐美，覆蓋國(guó)內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室，諾巴迪品牌已經(jīng)成為受客戶歡迎和信任的品牌之一。

公司以科技創(chuàng)新為主，服務(wù)客戶為宗旨，積極研究開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品，奉獻(xiàn)于教育和科研，經(jīng)過(guò)*的研發(fā)和不斷的技術(shù)積累，擁有熱工、制造、控制相關(guān)技術(shù)30余項(xiàng)，為化學(xué)、物理、材料、電子、高分子工程、新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過(guò)引進(jìn)“千人”強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，形成了有效的信息、技術(shù)交流平臺(tái)，為諾巴迪化發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持！

目前公司已研發(fā)生產(chǎn)29個(gè)系列178款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括管式爐、真空爐、升降爐、快速退火爐（RTP)、箱式爐、澆注爐、旋轉(zhuǎn)爐等，主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，遠(yuǎn)銷歐美及東亞地區(qū)，多款設(shè)備取得了歐盟CE認(rèn)證。

公司與“新世紀(jì)材料基因組工程研究院”有多層次的戰(zhàn)略合作關(guān)系，建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室，新能源新材料領(lǐng)域的千人教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力、科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝、精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，我們諾巴迪人時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。

點(diǎn)擊展示更多內(nèi)容

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

該產(chǎn)品是由固態(tài)等離子源、氣體質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、襯底控溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成，采用集中總線控制技術(shù)的諾巴迪操作軟件。適用于室溫至1200℃條件下進(jìn)行SiO2、SiNx薄膜的沉積，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)TEOS源沉積，SiC膜層沉積以及液態(tài)氣態(tài)源沉積其它材料，尤其適合于有機(jī)材料上高效保護(hù)層膜和特定溫度下無(wú)損傷鈍化膜的沉積。

PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

設(shè)備簡(jiǎn)介：

配置詳情

	1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 2. 上開(kāi)啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣； 3. 產(chǎn)品采用全自動(dòng)控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 4. 設(shè)備一體化程度高； 5. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量；
產(chǎn)品型號(hào)	NBD-PECVD1200-80IT
電氣規(guī)格	AC220V 4KW
可達(dá)溫度	1200 ℃
連續(xù)溫度	1150℃
可達(dá)加熱速率	≤ 20 ℃/分鐘
射頻電源	300或500W 13.56MHz
爐管尺寸	Φ80*1200mm
沉積示意圖				如圖所示：此為該設(shè)備沉積過(guò)程中的示意圖
控制系統(tǒng)			1.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，實(shí)時(shí)加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實(shí)驗(yàn)報(bào)告自主生成，實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)無(wú)限次導(dǎo)出。 2.實(shí)驗(yàn)過(guò)程更加直觀，操作更加便捷； 3.具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。
溫度精度	+/- 1 ℃
加熱元件			Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金
密封系統(tǒng)
	真空度：≤10Pa（機(jī)械泵）
壓力測(cè)量與監(jiān)控		采用數(shù)顯真空計(jì)，可使設(shè)備真空度更加直觀，實(shí)驗(yàn)結(jié)果更加準(zhǔn)確。
供氣系統(tǒng)		采用兩路質(zhì)子流量計(jì)精確控制氣體流速，與設(shè)備集成為一體；
凈重	360KG
設(shè)備使用注意事項(xiàng)	1. 設(shè)備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害； 2. 設(shè)備使用時(shí)，爐管內(nèi)壓力不得超過(guò)0.125MPa（壓力），以防止壓力過(guò)大造成設(shè)備損壞； 3. 真空下使用時(shí)，設(shè)備使用溫度不得超過(guò)800℃。 4. 供氣鋼瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購(gòu)試驗(yàn)用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。 5.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)； 6.高純石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度≦1100℃ 7.加熱的實(shí)驗(yàn)時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若壓力表讀數(shù)大于0.15MPa，必須立刻打開(kāi)排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
服務(wù)支持	1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和密封圈等）。

免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r(shí)，或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異，請(qǐng)與本公司客服人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。

相關(guān)產(chǎn)品

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) 觸摸屏流量計(jì) 壓力表

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
艾德克斯ITECH 微功耗量測(cè)以及材料研究精密源表 IT2805 200V1.5A20W	面議	深圳市	深圳市賽儀歐電子有限公司	2024-12-26	在線詢價(jià)
自動(dòng)測(cè)量圖像尺寸設(shè)備	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-08-11	在線詢價(jià)
羅卓尼克USB接口水活性快速測(cè)量探頭	面議	無(wú)錫市	無(wú)錫徽科特測(cè)控技術(shù)有限公司	2024-07-09	在線詢價(jià)
高通量實(shí)時(shí)熒光檢測(cè)分析系統(tǒng)	面議	上海市	美谷分子儀器（上海）有限公司	2024-02-28	在線詢價(jià)
激光功率測(cè)量系統(tǒng) LPMS	面議		上海倍藍(lán)光電科技有限公司	2024-04-23	在線詢價(jià)
水分活度測(cè)量?jī)x廠商	面議	常州市	常州金壇泰納儀器廠	2024-08-29	在線詢價(jià)

免責(zé)申明

所展示的信息由會(huì)員自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會(huì)員負(fù)責(zé)，儀表網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何責(zé)任。儀表網(wǎng)不涉及用戶間因交易而產(chǎn)生的法律關(guān)系及法律糾紛，糾紛由您自行協(xié)商解決

友情提醒：本網(wǎng)站僅作為用戶尋找交易對(duì)象，就貨物和服務(wù)的交易進(jìn)行協(xié)商，以及獲取各類與貿(mào)易相關(guān)的服務(wù)信息的平臺(tái)。為避免產(chǎn)生購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。過(guò)低的價(jià)格、夸張的描述、私人銀行賬戶等都有可能是虛假信息，請(qǐng)采購(gòu)商謹(jǐn)慎對(duì)待，謹(jǐn)防欺詐，對(duì)于任何付款行為請(qǐng)您慎重抉擇！如您遇到欺詐等不誠(chéng)信行為，請(qǐng)您立即與儀表網(wǎng)聯(lián)系，如查證屬實(shí)，儀表網(wǎng)會(huì)對(duì)該企業(yè)商鋪?zhàn)鲎N處理，但儀表網(wǎng)不對(duì)您因此造成的損失承擔(dān)責(zé)任！