| | 設(shè)備簡介： 多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐，供氣和真空系統(tǒng)靈活組合，滿足各類薄膜沉積，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。諾巴迪成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)?？茖W(xué)等領(lǐng)域。
| ||
| | | | |
| | 1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫性能*； 2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，保溫效果*，降低設(shè)備功耗； 3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝，自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋； 4.NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，實時加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實驗報告自主生成，實驗數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。 5.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng)，多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)； | |||||||||||||||
| 產(chǎn)品型號 | 三溫區(qū) | 四溫區(qū) | 五溫區(qū) | 六溫區(qū) | ||||||||||||
| 爐管尺寸 | ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm | |||||||||||||||
| 工作溫度 | ≤1150℃ | |||||||||||||||
| 加熱區(qū)選擇 (可定制） | 200mm*3 200+300+200mm 200+400+200mm 300mm*3 300+400+300mm | 200mm*4 200+300+300+200mm 200+400+400+200mm 300mm*4 300+400+400+300mm | 200mm*5 300mm*5
| 200mm*6 300mm*6
| ||||||||||||
| 升溫速率 | ≤20℃/s | |||||||||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC380V 6~10KW | AC380V 8~14KW | AC380V 10~15KW | AC380V 12~18KW | ||||||||||||
| 氣體系統(tǒng)（可選購） | 浮子或質(zhì)子 | |||||||||||||||
| 管道示意圖 | | | ||||||||||||||
| 進氣接口數(shù)量 | 2、3、4（多路可選） | |||||||||||||||
| 流量范圍 | 20-250/20-800ml/min......(多量程可選) 50/100/200/500sccm......(多量程可選) | |||||||||||||||
| 工作壓差范圍 | 0-0.15MPa | |||||||||||||||
| 低真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-3C/NBD-4C | ||||||||||||||
| 抽氣速率 | 3L/s或4L/s | |||||||||||||||
| 進排氣口尺寸 | KF16/25 | |||||||||||||||
| 系統(tǒng)真空 | 3~5Pa（真空泵極限真空6.2*10-2Pa） | |||||||||||||||
| 工作環(huán)境溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC220V | |||||||||||||||
| 高真空系統(tǒng)（可選購） | 真空泵型號 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | |||||||||||||
| 抽氣速率 | 110L/s | 600L/s | ||||||||||||||
| 真空測量計 | 復(fù)合真空計 | |||||||||||||||
| 系統(tǒng)真空 | 4.310^-3Pa | 6*10^-4Pa | ||||||||||||||
| 工作溫度 | 5-40℃ | |||||||||||||||
| 電氣規(guī)格 | AC 220V | AC 380V | ||||||||||||||
| * 支持非標定做，更多型號，歡迎來電垂詢 | ||||||||||||||||
免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考。可能由于更新不及時，或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異，請與本公司客服人員聯(lián)系確認。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，諾巴迪公司不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。
