分子泵真空機(jī)組 復(fù)合分子泵
分泵采用KF25接口,分子泵轉(zhuǎn)速達(dá)到51000轉(zhuǎn)/分,抽速達(dá)到140L/S,分子泵啟動(dòng)時(shí)間≤2min,空載限壓強(qiáng)≤1X10-4Pa ,真空測(cè)量范圍1E﹢2到1E-5 Pa,真空測(cè)量精度1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性: ±5%。
分子泵真空機(jī)組 復(fù)合分子泵
科探標(biāo)準(zhǔn)復(fù)合分子泵機(jī)組是一臺(tái)清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識(shí)原理,利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng),具有啟動(dòng)時(shí)間快、真空度高、操作方便等特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個(gè)領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測(cè)量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等
分子泵真空機(jī)組 復(fù)合分子泵