該系統(tǒng)主要由:1200型單溫區(qū)管式爐、CVD1200℃智能一體機(jī)三路氣體質(zhì)子流量計(jì)、NBD-4C真空泵和不銹鋼真空管道等組成;氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng),CVD1200℃智能一體機(jī)不易污染氣體.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接,不易泄漏。廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實(shí)驗(yàn);CVD1200℃智能一體機(jī)也可用于:真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多個(gè)研究領(lǐng)域。
CVD1200℃智能一體機(jī)設(shè)備集供氣系統(tǒng)和高溫管式爐為一體,爐體采用雙層結(jié)構(gòu),耐火層使用納米添加劑制作而成,CVD1200℃智能一體機(jī)采用無機(jī)粘合真空吸附成不同密度的復(fù)合層,使高溫設(shè)備的抗老化疲勞強(qiáng)度增加,CVD1200℃智能一體機(jī)節(jié)能效果明顯。并采用觸摸屏集中控制,操控性更強(qiáng),更方便。
設(shè)備參數(shù):
管徑:80*1000mm
外形尺寸:800*1200*470mm
加熱溫區(qū):440mm
恒溫區(qū):250mm
功率:5KW
加熱方式:加熱絲
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