光學(xué)顯微鏡具備明暗場(chǎng)、微分干涉、偏光等多種觀(guān)察功能。支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤(pán)，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升，為用戶(hù)提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、PCB、LCD、手機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎(chǔ)電子、模具五金、科研、汽車(chē)行業(yè)、計(jì)量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測(cè)。
多檔分光比觀(guān)察頭設(shè)計(jì)
觀(guān)察筒，采用寬光束成像系統(tǒng)設(shè)計(jì)，支持26.5mm 的超寬視野觀(guān)察，帶給您全新的大視野體驗(yàn)。兩檔式正像鉸鏈三目觀(guān)察筒，保證樣品的移動(dòng)方向與您通過(guò)目鏡觀(guān)察到的方向一致，使操作更加得心應(yīng)手。
三檔式鉸鏈三目觀(guān)察筒，在成像光線(xiàn)99% 用于雙目觀(guān)察或三目攝影的基礎(chǔ)上，增加一檔20% 用于雙目觀(guān)察，80% 用于顯微攝影，方便用戶(hù)同時(shí)對(duì)鏡下圖像與視頻圖像進(jìn)行對(duì)比觀(guān)察；
三檔式鉸鏈三目觀(guān)察筒，在成像光線(xiàn)99% 用于雙目觀(guān)察或三目攝影的基礎(chǔ)上，增加一檔20% 用于雙目觀(guān)察，80% 用于顯微攝影，方便用戶(hù)同時(shí)對(duì)鏡下圖像與視頻圖像進(jìn)行對(duì)比觀(guān)察；
偏振系統(tǒng)
偏振系統(tǒng)包括起偏器和檢偏器，可做偏光檢測(cè)，在半導(dǎo)體和PCB 檢測(cè)中，可消除雜光，細(xì)節(jié)更清楚。檢偏器分為固定式檢偏器和360 度旋轉(zhuǎn)式檢偏器。360°旋轉(zhuǎn)式檢偏器可在不移動(dòng)標(biāo)本的情況下，方便的觀(guān)察標(biāo)本在不同偏振角度光線(xiàn)下呈現(xiàn)的狀態(tài)?？稍谄裣到y(tǒng)的基礎(chǔ)上加載舜宇全新研發(fā)微分干涉器，建立諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)。
諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)
全新研發(fā)的U-DICR 微分干涉組件，可以將明場(chǎng)觀(guān)察下無(wú)法檢測(cè)的細(xì)微高低差，轉(zhuǎn)化為高對(duì)比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來(lái)，如LCD 導(dǎo)電粒子，精密磁盤(pán)表面劃痕等。
物鏡轉(zhuǎn)換器，多孔可選
多孔物鏡轉(zhuǎn)換器可以對(duì)同一個(gè)標(biāo)本的觀(guān)測(cè)點(diǎn)進(jìn)行連續(xù)的更加合理的低、中、高放大倍率觀(guān)察。全新的物鏡轉(zhuǎn)換器將光軸與轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間的夾角降低到15°，提高了對(duì)中精度和齊焦精度，且外觀(guān)更加緊湊。
技術(shù)參數(shù)
| 光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
| 觀(guān)察頭 | 三目觀(guān)察筒 ,45°傾斜 , 鉸鏈組可 360°旋轉(zhuǎn) , 固定式目鏡筒 , 瞳距調(diào)節(jié)范圍 50-75mm, 兩檔式分光比 ：雙目 : 三目 =100 ：0 或 0 ：100 |
| 目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/22mm, 視度可調(diào)，可帶測(cè)微尺 |
| | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL15X/16mm, 視度可調(diào) |
| 物鏡 | 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡 5X、10X、20X、50X、100X |
| | 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)消色差金相物鏡 5X、10X、20X、50X、100X |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 內(nèi)定位 5 孔明場(chǎng)轉(zhuǎn)換器（帶 DIC 插槽），內(nèi)置倍率傳感器 |
| | 內(nèi)定位 5 孔明暗場(chǎng)轉(zhuǎn)換器（帶 DIC 插槽），內(nèi)置倍率傳感器 |
| 機(jī)架 | 反射明暗場(chǎng)金相機(jī)架 , 采用低手位粗微調(diào)同軸 , 粗調(diào)行程 9mm, 焦面向上 6.5mm, 向下 2.5mm, 微調(diào)精度 0.002mm, 帶有防止下滑的松緊調(diào)節(jié)手輪 |
| | 帶明暗場(chǎng)切換裝置 , 帶可變視場(chǎng)光闌、孔徑光闌，中心均可調(diào)；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 , 帶燈源亮度指示條,帶紅外感應(yīng)和物鏡倍率顯示功能 |
| 照明系統(tǒng) | 采用外置式寬電壓變壓器 , 輸入 100-240V, 輸出 15V13.4A, 亮度連續(xù)可調(diào) |
| 載物臺(tái) | 三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，平臺(tái)尺寸 ：240（W）×250（L），移動(dòng)范圍 50×50mm，雙向線(xiàn)軌傳動(dòng)，右手低手位控制 |
| 攝影攝像附件 | 0.35X、0.5X、0.65X、1X，C 型接口，可調(diào)焦 |
| 其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 ； DIC 微分干涉組件 ；濾色片組 ；高精度測(cè)微尺 |
