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  • 晶化快速退火爐  嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備

RTP-3-01 晶化快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備

參考價訂貨量

320000 315000 300000

1-2件3-5件≥6件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號RTP-3-01
  • 品牌其他品牌
  • 所在地武漢市
  • 更新時間2023-06-24
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量11
  • 人氣值142
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武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年,是以薄膜物性測量儀器作為戰(zhàn)略定位,技術(shù)自主創(chuàng)新的國家新技術(shù)企業(yè)。公司集快速退火爐,霍爾效應(yīng)測試,RTP,RTA,RTO,熱電參數(shù)測試,Seebeck系數(shù)測試,電導(dǎo)率測試,熱導(dǎo)率測試,相變溫度分析,液氮低溫恒溫器等物性檢測儀器和半導(dǎo)體工藝設(shè)備的研發(fā)、市場和技術(shù)服務(wù)于一體,且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業(yè)。


  武漢嘉儀通科技有限公司始終堅持自主研發(fā)與應(yīng)用創(chuàng)新,擁有自己的技術(shù)工程師研發(fā)團隊,建有省級工程實驗室、新型研發(fā)機構(gòu)以及市級企業(yè)技術(shù)中心平臺,擁有知識產(chǎn)權(quán)100多項,主持承擔(dān)參與了10余項國家科技攻關(guān)項目。2020 年,公司研發(fā)的“薄膜材料熱特性測試技術(shù)及儀器”技術(shù)與產(chǎn)品榮獲了“湖北省技術(shù)發(fā)明一等獎”。核心序列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所、第三方檢測機構(gòu)和工業(yè)企業(yè)等細分領(lǐng)域,并服務(wù)于國內(nèi)近500家客戶。除此之外,核心產(chǎn)品還遠銷美國、英國、日本、澳大利亞、以色列、香港、澳門、中國臺灣等20多個國家和地區(qū),實實在在為新材料的科研和生產(chǎn)創(chuàng)造了價值。未來,公司依托省級科研共享平臺的大數(shù)據(jù)分析,為世界各國用戶的薄膜技術(shù)研究及戰(zhàn)略方向提供理論依據(jù)與數(shù)據(jù)支撐。 


  武漢嘉儀通科技有限公司秉承技術(shù)創(chuàng)新、應(yīng)用為上的行動準(zhǔn)則,遵循“專注、創(chuàng)新、成長、勤勉”的核心價值理念,認(rèn)真做好每一款產(chǎn)品,為客戶提供合適的產(chǎn)品與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。最終實現(xiàn)公司愿景:和員工一起成長為薄膜(熱)測量領(lǐng)域的先鋒!

 

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產(chǎn)地國產(chǎn) 加工定制
晶化快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備,采用紅外輻射加熱技術(shù),可實現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達到好的溫場均勻性,對薄膜材料進行晶化快速退火處理,提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。
晶化快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備 產(chǎn)品詳情

晶化快速退火爐  嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備,采用紅外輻射加熱技術(shù),可實現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達到好的溫場均勻性,對薄膜材料進行晶化快速退火處理,提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。

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晶化快速退火爐產(chǎn)品特點:

快速加熱和降溫:可控升溫速率可達50 ℃/s,特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s

 精確控溫采用工業(yè)級溫控器進行PID精確控溫,目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高,可實現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

 適應(yīng)多種工藝環(huán)境滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等)。同時,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,真空度可達10-3Pa

 配備觀察窗口通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時,可以結(jié)合相關(guān)測試方法進行原位測試分析。

 超高安全系數(shù)采用爐壁超溫報警系統(tǒng)和冷卻水流量報警系統(tǒng),多方位保障儀器使用安全。

 國產(chǎn)退火爐:擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力,能快速反應(yīng)客戶售后需求。

 

晶化快速退火爐技術(shù)參數(shù):

 

型號

RTP-3-01系列

溫度

1200

升溫速率

50/s

溫度均勻性

1%設(shè)定溫度

溫度控制

選用工業(yè)級溫控器,控溫精度±0.1

溫度傳感器

標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶

降溫速率

1200℃→400℃,200/min

400℃→100℃,20/min

(自然冷卻)

樣品尺寸

W20 x L20 x T2   (mm)

主機尺寸

W420X L320X   H220 (mm)

主機重量

20.5kg

 

晶化快速退火爐  嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備客戶案例:

 

清華大學(xué)使用嘉儀通1吋晶化快速退火爐給HfO2薄膜做晶化退火,得到晶相一致晶粒較小的晶體,提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。


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