氮?dú)飧邷睾嫦溆猛荆?
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。
氮?dú)飧邷睾嫦?/strong>特點(diǎn)：
1.外壁材料采用雙面鍍鋅鋼板，表面噴塑處理；內(nèi)壁材料：SUS不銹鋼板；箱體保溫材料：玻璃纖維；門保溫材料：玻璃纖維。
2.室內(nèi)空間設(shè)置樣品架支撐調(diào)節(jié)分度架，在分度架上設(shè)置卡槽，樣品架可輕放入和取出，托盤(pán)采用不繡鋼材料，承重≥10KG/層，分別支持4寸晶圓25片，6寸晶圓25片。
3.烘箱后壁開(kāi)設(shè)一個(gè)氮?dú)饨涌冢梢酝饨拥獨(dú)?，使箱?nèi)處于厭氧狀態(tài)。
4.具有帶電池保護(hù)的RAM,可保存設(shè)備的設(shè)定值、采樣值及采樣時(shí)刻的時(shí)間；曲線記錄周期可設(shè)定1S～120sec，記憶時(shí)間儲(chǔ)存連續(xù)存儲(chǔ)720天歷史曲線,歷史數(shù)據(jù)(當(dāng)采樣時(shí)間為2min), 無(wú)連續(xù)使用時(shí)，數(shù)據(jù)可以保存長(zhǎng)達(dá)10年以上。
5.故障報(bào)警及原因、處理提示功能；斷電保護(hù)功能；上下限溫度保護(hù)功能；定時(shí)功能(自動(dòng)啟動(dòng)及自動(dòng)停止運(yùn)行)、自診斷。
