108是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
- 通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程，避免樣品表面受損。
- 操作容易快捷，控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。
- 可用MTM-10高分辨膜厚控制儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度。
- 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
- 可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配），靶材更換快速方便。
技術(shù)參數(shù)
| 濺射系統(tǒng) | |
| 樣品室大小 | 直徑 |
| 靶材 | 標(biāo)配黃金Au靶，Pt等其它靶材可選 大?。褐睆?/span> |
| 樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為 |
| 濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖 |
| 濺射電流 | 5~45mA可調(diào) |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
| 計(jì)量表 | 真空： Atm - 0.001mbar，電流：0~50mA |
| 厚度監(jiān)控 | 使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度 |
| 控制方法 | 具有氣體換氣和泄氣功能，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時(shí)器（5－300s） |
| 真空系統(tǒng) | |
| 真空泵 | 2級(jí)直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | |
| 極限真空 | 5 x 10-3mba |
| 桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
銅網(wǎng)鍍碳制成負(fù)染色蛋白質(zhì)樣品案例
關(guān)鍵詞：真空泵
