高性價比半導(dǎo)體探針臺
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司為用戶提供了高性價比配置的真空高低溫探針臺,該系統(tǒng)配置了溫度控制系統(tǒng),為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定、高效的溫度控制,節(jié)約用戶的設(shè)備預(yù)算。
配套了高精度PID溫度控制器,用戶可以清楚直觀地了解了整體系統(tǒng)相關(guān)位置的溫度情況,確保溫度測試的可靠性。同時,200W 大功率直流輸出,可讓樣品臺快速從-196℃上升至400℃,極大地提供了溫控效率,為用戶節(jié)省大量寶貴的實驗時間。由于系統(tǒng)中溫控部件均為直流配置,也大大地減少了加熱部件的干擾,提供了系統(tǒng) 的漏電精度。
高性能、寬溫度范圍的高低溫探針臺系統(tǒng)
除了高性價比入門級配置,鄭州科探儀器設(shè)備有限公司還為用戶研發(fā)了高性價比配置的真空高低溫探針臺系統(tǒng)。溫度控制系統(tǒng),為用戶提供精準(zhǔn)、穩(wěn)定且高效的溫度控制。
真空高低溫探針臺系統(tǒng),使用國際上*的溫度控制系統(tǒng)和傳感器,溫度范圍為77.15K至673.15K(-196攝氏度到400攝氏度),溫度穩(wěn)定性可達(dá)0.1K。
多種真空度可選的半導(dǎo)體探針臺
高低溫探針臺系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級配置的用戶,可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度,從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對于真空度有更高要求的用戶,可選用分子泵組對系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺系統(tǒng)可達(dá)10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組,以滿足測試要求。
為了減少泵組的振動,我們還專門為用戶設(shè)計了隔振器,地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動,以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定,減少探針的漂移。
可選多種樣品臺配置
普通的樣品夾具。們也提供同軸或三同軸配置的樣品夾具,用于超低漏電測試應(yīng)用中。所有樣品夾具表面均有鍍金層,增強樣品的導(dǎo)電性能。
*的屏蔽及熱沉技術(shù)
待測器件的溫度會受到輻射及周邊部件熱傳導(dǎo)的影響,因此,如果沒有完善的熱錨技術(shù),將無法得到精準(zhǔn)可靠的目標(biāo)溫度。由于傳感器只是安裝在恒溫器上,而不是安裝在的溫度實際將比您在控制器上觀察到的溫度要高出許多。
高真空探針臺冷熱型鄭科探
四
應(yīng)用范圍:
l 光伏工業(yè)
l 材料科學(xué)
l 光電行業(yè)
l 失效分析
l 通信器件測試
l 微機(jī)電技術(shù)
l 高頻/微波測試
l 半導(dǎo)體技術(shù)
KT-Z1604T 高真空探針臺冷熱型鄭科探
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移動行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機(jī) | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |