氣體質(zhì)量流量計M***030A 產(chǎn)品亮點: |
-類 型:MFM氣體質(zhì)量流量計 -控制范圍:10sccm ~ 30slpm (sccm:標準毫升/分 slpm:標準升/分) -準度等級: ±1% F.S -耐 壓:≤90bar -標準接口:0-5VDC,4-20mA可選 -響應(yīng)時間:≤2sec -使用范圍:2~99% for max range -供電電源:+15~+28Vdc, 350Ma -漏 率:1×10-9atm·cc/sec -氣路連接:1/4”SWG,1/8”SWG,3/8”SWG,1/4”VCR |
-適用介質(zhì):所有氣體(含腐蝕性氣體和有毒氣體) |
產(chǎn)品型號 | M***030V | M***030A |
流量范圍 (N2) | 10sccm ~ 30slpm | 10sccm ~ 30slpm |
響應(yīng)時間 | ≤2秒 | ≤2秒 |
準確度 | ≤±1% 滿量程 | ≤±1% 滿量程 |
重復(fù)精度 | ≤±0.25% 滿量程 | ≤±0.25% 滿量程 |
輸出輸入信號 | 0~5Vdc | 0~5Vdc或4~20毫安 |
供電 | +15~+28Vdc,350毫安 | +15~+28Vdc,350毫安 |
耐壓 | ≤90 bar | ≤90 bar |
工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
應(yīng)用領(lǐng)域:
-分析儀器 -干刻(RIE/DRIE) -燃料電池
-生物技術(shù) -氣相色譜分析 -等離子刻蝕
-激光焊機 -混氣配氣系統(tǒng) -微反應(yīng)裝置
-真空鍍膜 -過程自動化 -石化工業(yè)