三坐標(biāo)測量儀是一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個(gè)軸之位移量測系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)（x,y,z）及各項(xiàng)功能量測的三維坐標(biāo)測量儀器。
中圖儀器Mars系列三維坐標(biāo)測量儀器是移動(dòng)橋式的三坐標(biāo)測量機(jī)。能夠?qū)Ω鞣N零件和部件的尺寸、形狀及相互位置關(guān)系進(jìn)行檢測，也支持觸發(fā)、掃描和非接觸式探測系統(tǒng)，對軟材質(zhì)或復(fù)雜零件進(jìn)行光學(xué)掃描測量。并且支持測頭更換架以及影像相機(jī)，同時(shí)支持精密轉(zhuǎn)臺等。
主要特點(diǎn)
1、三軸均采用低熱膨脹系數(shù)的花崗巖導(dǎo)軌，機(jī)器具有良好的溫度適應(yīng)性，抗時(shí)效變形能力。
2、環(huán)抱式的氣浮布局，使機(jī)器保持長時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行，并且具有高的運(yùn)行精度。
3、關(guān)鍵部件一體鑄造成型，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，強(qiáng)度高，運(yùn)行更為快速平穩(wěn)、測量精度更高。
4、低摩擦阻力的氣缸，Z軸在運(yùn)動(dòng)過程中具有低摩擦阻力，提高Z軸運(yùn)動(dòng)的精度。
5、采用海德漢光柵尺，確保機(jī)器在使用過程中具有高精度和長時(shí)間的穩(wěn)定性。
6、高剛性傳動(dòng)，保證了機(jī)器傳動(dòng)的剛性和平穩(wěn)性，提高了機(jī)器的運(yùn)動(dòng)精度。
7、固定式的工作臺，使機(jī)器具有承載能力強(qiáng)、裝卸空間寬闊、便捷。
8、氣壓檢測安全裝置，保證Z軸不會因?yàn)閿鄽舛聣?，保證了測頭測座的安全。
Mars系列三坐標(biāo)的測頭系統(tǒng)是由測座、測頭、探針等組成，是數(shù)據(jù)采集的傳感器系統(tǒng)，三坐標(biāo)測量機(jī)在對工件進(jìn)行測量時(shí)，能夠根據(jù)測頭系統(tǒng)探測工件，返回工件表面的點(diǎn)數(shù)據(jù)，通過三坐標(biāo)的軟件系統(tǒng)計(jì)算各類幾何形狀、尺寸等。
1.測頭座
測頭座是探測系統(tǒng)中連接三坐標(biāo)測量機(jī)移動(dòng)軸與測頭的部分，測頭信號通過測座同三坐標(biāo)測量機(jī)控制系統(tǒng)的測頭接口相連。測座有多種，主要分為手動(dòng)可旋轉(zhuǎn)測座、固定測座、萬向探測系統(tǒng)三種。
2.測頭
測頭是測量機(jī)觸測被測零件的發(fā)訊開關(guān)，它是坐標(biāo)測量機(jī)的關(guān)鍵部件，主體為探測傳感器，一般由獨(dú)立的控制系統(tǒng)控制，其主要包括測量力的控制、測量過程控制、測點(diǎn)的感知、與坐標(biāo)測量系統(tǒng)通訊等。
3.探針
安裝在測頭上，并接觸被測量元件，典型結(jié)構(gòu)為測桿＋紅寶石球。不同形狀和規(guī)格，確保測頭不受限制的對工件所有特征元素進(jìn)行測量，整個(gè)探針系統(tǒng)包括：接長桿、轉(zhuǎn)接件、探針(組)等。探針系統(tǒng)可以根據(jù)相關(guān)的測量要求，通過對這些構(gòu)件的組合與配置，形成各種結(jié)構(gòu)形式，以完成不同的測量任務(wù)。
4.附件
1）加長桿
加長桿探針的輔助測量，具有測量較深位置特征的能力。
2）更換架
由于被測工件的復(fù)雜性，在實(shí)際測量工作中不可能由一個(gè)探針(系統(tǒng))完成所有的測量任務(wù)，更換架可對測量機(jī)測座上的測頭/加長桿/探針組合進(jìn)行快速、可重復(fù)的更換，在同一測量系統(tǒng)下對不同的工件進(jìn)行自動(dòng)化的檢測。
3）標(biāo)準(zhǔn)球
由坐標(biāo)測量系統(tǒng)供應(yīng)商提供的一個(gè)(組)已知直徑的高精度球(球度誤差很小)， 用來標(biāo)定和校準(zhǔn)探測系統(tǒng)。這個(gè)裝置在平時(shí)使用過程中必須注意保護(hù)，因?yàn)樗菧y量機(jī)精度的依據(jù)之一，也是使用很頻繁的一個(gè)裝置。
選配件
1.冷干機(jī)
三坐標(biāo)用氣源的初級空氣過濾，除水，除油，為三坐標(biāo)本身所配置的精密過濾系統(tǒng)減輕壓力，有效延長測量機(jī)的使用壽命。
2.UPS穩(wěn)壓電源
提供電壓及斷電延遲保護(hù)，防止客戶現(xiàn)場因?yàn)殡妷翰环€(wěn)定造成測量機(jī)元器件的損壞及防止因意外斷電造成正在測量過程中的數(shù)據(jù)丟失。
3.測頭更換架
由于被測工件的復(fù)雜性，在實(shí)際測量工作中不可能由一個(gè)探針完成所有的測量任務(wù)，更換架可對測量機(jī)測座上的測頭/加長桿/探針組合進(jìn)行快速、可重復(fù)性的更換，在同一測量系統(tǒng)下對不同的工件進(jìn)行自動(dòng)化的檢測。
4.夾具
三坐標(biāo)夾具使用在測量機(jī)上，利用其模塊化的支持和參考裝置，完成對所測工件的柔性固定。
5.打印機(jī)
打印機(jī)可用于將測量報(bào)告打印輸出。
中圖儀器三坐標(biāo)測量儀采用自主研發(fā)的設(shè)計(jì)與測量系統(tǒng)，提供了測量機(jī)的高精度性能，測量行程500*700*500mm延伸到900*1200*600mm，結(jié)合多樣化配置，可滿足不同的測量需求。
