1.1真空、氦氣雙光路 
1.2多樣品盤(pán)設(shè)計(jì)
1.3 X-Ray探測(cè)器
1.4多種規(guī)格測(cè)試光斑
1.5小細(xì)節(jié)大智慧
探測(cè)器：
●類(lèi)型：X-123探測(cè)器（采用原裝風(fēng)進(jìn)口高性能電致冷半導(dǎo)體探測(cè)器）
● Be窗厚度：0.5mil
●晶體面積：25mm2
●分辨率：125eV
●信號(hào)處理系統(tǒng)DP5
X射線管：
● 電 壓 ：0~50kV
● 電流 ：2.0mA
● 功率 ：50W
● 靶 材 ：Mo
● Be窗厚度 ：0.5mm
● 使用壽命 ：大于2萬(wàn)小時(shí)
高壓電源：
●輸出電壓：0~50kV
●燈絲電流：0~2mA
● 功率：50W
● 紋波系數(shù)：0.1%（p-p值）
●8小時(shí)穩(wěn)定性：0.05%
攝像頭：
● 微焦距
●免驅(qū)動(dòng)
● 500萬(wàn)像素
準(zhǔn)直器、濾光片：
● 快拆卸準(zhǔn)直器、濾光片系統(tǒng)
●多種材質(zhì)準(zhǔn)直器
●光斑大小Φ0.7mm、Φ1.2mm、Φ3.0mm、Φ5.0mm
●多種濾光片、準(zhǔn)直器組合，軟件自動(dòng)切換
真空泵：
●雙級(jí)旋片式真空泵
●功率：400w
●抽吸速率：8m3/h
其他配件：
●進(jìn)口高性能開(kāi)關(guān)電源
●進(jìn)口低噪聲、大風(fēng)量風(fēng)扇
●外形尺寸 ：470 mm x 560mm x 1030 mm （長(zhǎng)x寬x高）
● 樣品倉(cāng)尺寸 ：Φ188mm×88mm （直徑x高）
●儀器重量 ：95kg
●供電電源 ：AC220V/ 50Hz
●功率 ：1000W
●工作溫度 ：15-30℃
●相對(duì)濕度 ：≤85%，不結(jié)露
