MS1000是專為慣性應用而設計的同類電容式體硅MEMS加速度計。其優(yōu)異的長期零偏和比例因子重復性，低運行偏差，優(yōu)異的振動行為（VRE）和低噪聲，可用于非常精確和具有成本效益的戰(zhàn)術級測量。內部電子電路集成了一個具有差分模擬±2.7V輸出的信號調理器，一個內置自檢和一個溫度補償傳感器。
單軸模擬加速度計MS1000產品特點:
運行中偏置穩(wěn)定性: 15 µg
非線性: ±0.3% FS
優(yōu)異的長期零偏重復性: 1.2mg
惡劣環(huán)境中的可靠性
低噪聲: 34 µg/√Hz
LCC20, 密封包裝
重要參數(shù), 典型值 MS1002 MS1005* MS1010 MS1030* MS1100* Unit 加速度全量程 ± 2 ± 5 ± 10 ± 30 ± 100 g 剩余偏置建模誤差 0.14 0.35 0.7 2.1 7.0 mg 長期零偏重復性 0.24 0.6 1.2 3.6 12.0 mg 運行中偏置穩(wěn)定性 3 7.5 15 45 150 µg 剩余比例因子建模誤差 120 120 120 120 120 ppm 比例因子敏感性 1350 540 270 90 27 mV/g 軸不對準 10 10 10 10 10 mrad 分辨率(1Hz) 7 17 34 102 339 µgrms 非線性 (IEEE norm) 0.3 0.3 0.3 0.3 0.3 % FS 運行功耗 -40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 -40to+125 -40 to +125 °C 尺寸 9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9 9 x 9 mm2
