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OLYMPUS MX80 技術(shù)規(guī)格 |
MX80 目鏡/物鏡: UIS 目鏡 F.N.26.5 UIS 物鏡 物鏡適配器,配合明視野物鏡 MX80 顯微鏡鏡體: 兼容鏡體 適用于200/300mm晶圓觀測(cè),一個(gè)RS232C外部通訊接口。 電動(dòng)對(duì)焦部件: MX80 反光照明: 電動(dòng)選擇觀測(cè)系統(tǒng)(4組分光鏡選擇,用于明視野法、暗視野法、偏振光和熒光照射觀測(cè)) 激光主動(dòng)法。波長:λ=780nm,CDRH 1級(jí)兼容。 |