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Diener 等離子表面處理儀 Tetra100

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-07-27
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量49
  • 人氣值62
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技術(shù)應(yīng)用鏈接:特點(diǎn):便捷的觸摸屏操作界面數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實時顯示方式異常報警功能自動/手動操作模式可切換儲存多套工藝程序遠(yuǎn)程操控
Diener 等離子表面處理儀 Tetra100 產(chǎn)品詳情
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特點(diǎn):

·便捷的觸摸屏操作界面

·數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實時顯示方式

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·自動/手動操作模式可切換

·儲存多套工藝程序

·遠(yuǎn)程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出

·模塊多樣化選擇,多層托盤可選,處理量大

 

技術(shù)規(guī)格:

型號

Tetra 100

控制系統(tǒng)

控制方式

全自動控制(自動/手動切換)

BASIC PC

FULL PC

操作系統(tǒng)

Windows CE

Windows 10

觸摸屏

3.5/7”

7/15”

工藝氣體

O2 Ar N2 Air SF6 CF4

工藝氣路

1-3路(可選)

1-10路(可選)

流量計

MFC /防腐型MFC

真空腔體

不銹鋼W400xD625xH400/100L

鋁合金W400xD625xH400/100L

電極

材質(zhì)

鋁/不銹鋼電極

層數(shù)(可選)

1-10(可選)

1-2

1-5

發(fā)生器

 

40kHz 0-1500W

80kHz 0-1000W 0-3000W

13.56MHz 0-300W/0-600W/0-1000W

2.45GHz 0-1200W

真空壓力計(mba)

皮拉尼傳感器(0-9.99)

托盤

不銹鋼/鋁

實板/鏤空

層數(shù)

1-10(可選)

外形尺寸WDH(mm)

600x850x1700(2100)

電源

AC400 V / 16 A

真空泵抽氣速度

根據(jù)工藝選擇

選配件

單體導(dǎo)入模塊、遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)、防腐系統(tǒng)、氣浴、托盤/腔體冷卻系統(tǒng)、加熱模塊、RIE電極(刻蝕)、石英舟、干泵

 

 

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Diener
等離子表面處理儀
Tetra100
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