器件教學(xué)套件和工藝教學(xué)套件為用戶提供了一個(gè)學(xué)習(xí)7nm工業(yè)級(jí)“數(shù)據(jù)”的機(jī)會(huì),而在當(dāng)前高校教育中,還有一個(gè)問(wèn)題,就是需要學(xué)生熟悉真實(shí)的工業(yè)“場(chǎng)景”,場(chǎng)景+數(shù)據(jù)的模式,讓同學(xué)能夠“知其然,知其所以然”,為此,我們建立了一個(gè)7nm集成電路虛擬現(xiàn)實(shí)(VR)實(shí)驗(yàn)室,重現(xiàn)真實(shí)的工業(yè)“場(chǎng)景”
該套件包含如下內(nèi)容
1.工業(yè)級(jí)*集成電路制造設(shè)備:如300毫米(12英寸)半自動(dòng)探針臺(tái)、EUV光刻機(jī)等。
2.工業(yè)級(jí)*設(shè)備使用過(guò)程模擬:包括裝晶圓、扎探針、工藝線操作、封裝線操作等操作過(guò)程。
3.*工藝線全流程模擬:學(xué)生猶如置身于一個(gè)真實(shí)的工藝線中。
4.*封裝線全流程模擬:學(xué)生猶如置身于一個(gè)真實(shí)的快封線中。
5.*測(cè)試線全流程模擬:學(xué)生猶如置身于一個(gè)真實(shí)的測(cè)試線中。