型號:GR/VMS-2010
有效測量行程(X×Y) :200 mm×100 mm
Z軸調焦升降范圍:180mm
分辨率:0.001mm
X、Y軸線性精度:U≤( 3+L/200 )μm
重復精度:±0.003 mm
載物臺尺寸:345mm*250mm
玻璃臺尺寸:223 mm×143mm
承載重量:25 kg
影像系統(tǒng):美國TEO高分辨率1/3”彩色CCD
物鏡:可連續(xù)變倍光學放大倍率0.7×-4.5×
影像放大倍率:20-225×,
光柵尺:光柵尺,分辨率1um
照明系統(tǒng):表面光源及透射光源均為LED,亮度可調
傳動方式:中國臺灣無牙傳動+P級交叉導軌
操作方式:搖桿手柄、鼠標拖運、
主機外形尺寸:550mm×390mm×870 mm
機臺底座、Z軸立柱:花崗石精度00級
儀器總重:約120 kg
有效測量行程(X×Y) :200 mm×100 mm
Z軸調焦升降范圍:180mm
分辨率:0.001mm
X、Y軸線性精度:U≤( 3+L/200 )μm
重復精度:±0.003 mm
載物臺尺寸:345mm*250mm
玻璃臺尺寸:223 mm×143mm
承載重量:25 kg
影像系統(tǒng):美國TEO高分辨率1/3”彩色CCD
物鏡:可連續(xù)變倍光學放大倍率0.7×-4.5×
影像放大倍率:20-225×,
光柵尺:光柵尺,分辨率1um
照明系統(tǒng):表面光源及透射光源均為LED,亮度可調
傳動方式:中國臺灣無牙傳動+P級交叉導軌
操作方式:搖桿手柄、鼠標拖運、
主機外形尺寸:550mm×390mm×870 mm
機臺底座、Z軸立柱:花崗石精度00級
儀器總重:約120 kg