產(chǎn)品介紹
上海升利測(cè)試儀器有限公司3D真空快速退火爐SLQ1400-20系列以優(yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快速升降溫,采用外殼整體密封,蓋板用硅膠泥密封,爐門(mén)配有水冷系統(tǒng)并配有硅膠墊,,用浮子流量計(jì)控制進(jìn)氣流量、該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火、熔化﹑分析而研制的專用理想設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | SLQ1400℃真空氣氛爐,SLQ1400℃箱式氣氛爐 | |||
產(chǎn)品簡(jiǎn)介 | 以優(yōu)質(zhì)硅碳棒為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫系統(tǒng),移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快速升降溫,采用外殼整體密封,蓋板用硅膠泥密封,爐門(mén)配有水冷系統(tǒng)并配有硅膠墊,,用浮子流量計(jì)控制進(jìn)氣流量、該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火、熔化﹑分析而研制的專用理想設(shè)備。 | |||
產(chǎn)品型號(hào) | SLQ1400-20 | SLQ1400-30 | SLQ1400-40 | SLQ1400-50 |
長(zhǎng)*寬*高mm | 200*150*150 | 300*200*200 | 400*300*300 | 500*400*400 |
工作電壓 | 220V | 220V | 380V | 380V |
功率 | 4 KW | 5 KW | 12KW | 18 KW |
加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)硅碳棒 | |||
工作溫度 | 1300℃ | |||
極限溫度 | 1400℃ | |||
升溫速率 | ≤ 20℃/min | |||
真空度 | 極限真空度:<-0.08Mpa 使用真空度: ≤-0.02Mpa | |||
可通氣體 | 氧氣、氮?dú)?、氬氣、氫?/span>及其它惰性氣氛 (氣體流量計(jì) 另配) | |||
氣氛壓力 | 極限氣氛壓力:<-0.08Mpa 使用氣氛壓力: ≤-0.01Mpa |
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