臺式掃描電子顯微鏡(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM),又俗稱“桌上型掃描電鏡”或“Mini SEM”,相較于傳統(tǒng)大型SEM(落地式),臺式SEM具有體積小巧、操作簡便、價格便宜、快速抽真空等優(yōu)勢,而且它的放大倍數(shù)可高達100,000倍以上。此類新型儀器的出現(xiàn)光學顯微鏡與落地式SEM之間的空白區(qū)域,可廣泛應用于材料科學、納米顆粒、生物醫(yī)學、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學等諸多領域。
組成:
真空系統(tǒng):一般采用機械泵與分子泵聯(lián)動
電子槍:一般為CeB6( 六硼化鈰)或鎢燈絲,其中鎢燈絲的壽命較短,僅為40-100小時,需頻繁更換,CeB6燈絲壽命超過1500小時,且亮度更高。目前尚沒有采用 場發(fā)射(Field Emission)的臺式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測器: 背散射電子或二次電子探測器,可選配EDS
特點:
放大倍數(shù)高(相對光學顯微鏡)
成像速度快
大景深
體積小巧
操作簡便
價格便宜
應用:
臺式掃描電鏡可以滿足絕大多數(shù)傳統(tǒng)SEM用戶的需求,其應用領域極其廣泛,包括:粉末、金相、制藥、造紙、半導體、微電子、生命科學 ……