產品介紹

Thermo Scientific™ Verios ™ 5 XHR SEM可在1 keV至30 keV的整個能量范圍內提供亞納米級的分辨率，并具有出色的材料對比度。的自動化和易用性水平使該性能可供任何經驗水平的用戶使用。對于材料科學家來說，熱科學Verios 5型XHR通過將亞納米特性擴展到目前正在開發(fā)的新材料（如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物物體和其他納米尺度結構），掃描電鏡提供了重要的新見解。高分辨率，高對比度的圖像獲得不需要過渡到瞬變或其他成像技術。5XHRSEM提供了研究應用的所有靈活性，以容納大樣本，如全晶片或冶金樣品，執(zhí)行快速分析由于其高電流模式或工作在精密原型應用，如電子束誘導直接沉積材料或光刻。在半導體和數(shù)據(jù)存儲市場，Verios 5XHRSEM的性能顯著擴展了SEM的能力，為基礎研究、工藝和材料開發(fā)、過程控制和失效分析提供了完整的解決方案。它提供了準確的，可重復的測量結果，即使在敏感的材料。5XHRSEM的特點是行業(yè)的性能，而不影響高吞吐量、樣品靈活性和傳統(tǒng)SEM的易用性。

產品特點

? 使用UC +的納米材料圖像分辨率，這是一種單色電子源，可實現(xiàn)1-30 kV的亞納米性能。

? 敏感材料上的對比度，具有低至20 eV著陸能量的出色性能，高靈敏度的柱內和透鏡下方檢測器以及用于低劑量操作和對比度選擇的信號過濾。

? 使用具有SmartAlign和FLASH技術的同類Elstar電子色譜柱，為任何經驗水平的用戶提供最短的納米級信息。

? 使用ConstantPower鏡頭，靜電掃描和兩個壓電位移臺的選擇，可獲得一致的測量結果。

? 大腔室附件的靈活性。

? 使用AutoScript 4軟件（基于Python的可選應用程序編程接口）進行無人值守的SEM操作。

參數(shù)

 電子光學系統(tǒng)

? 二次電子分辨率：優(yōu)于0.6 nm (2kV – 15kV范圍內)；0.7 nm@1kV；1.0nm@0.5kV；1.2nm@0.2 kV (保證客戶現(xiàn)場驗收)

? 放大倍率：40 ～ 900,000倍

根據(jù)加速電壓和工作距離的改變，放大倍數(shù)自動校準

? 加速電壓：0.05 ～ 30 kV，著陸電壓：0.02 ～ 30kV

? 電子：帶電子束單色器技術的超高亮肖特基場發(fā)射電子

? 電子束流：0.8pA ～ 100 nA，連續(xù)可調

? 60°錐度物鏡幾何設計，恒功率雙物鏡系統(tǒng)（電磁透鏡和靜電透鏡）

? 自動式物鏡光闌：物鏡光欄應能自加熱自清潔；無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌，15孔可調光闌

樣品室

? 樣品室：可容納樣品直徑100 mm, 21個附件接口

? 可安裝冷凍樣品臺附件

? 樣品臺：五軸馬達驅動超高精度樣品臺，移動范圍指標：

 -X/Y≧100 mm, Z 3 20mm,

 -X/Y重復精度：0.5μm，連續(xù)旋轉：R=720° 傾斜角

T：范圍不小于-10o～+60o

? 配置電子束減速模式，-50V至-4KV

? 探測器：

? Through-lens SE detector (TLD-SE) (透鏡內二次電子探測器)

? Through-lens BSE detector (TLD-BSE) (透鏡內背散射電子探測器)

? Elstar in-column SE detector (ICD) (鏡筒內二次電子檢測器)

? Elstar in-column BSE detector (MD) (鏡筒內背散射電子探測器)

? Everhart-Thornley SED (樣品室E-T二次電子探頭)

? Retractable DBS Detector (可拔插式定向背散射探頭)

? Retractable STEM 3+ Detector (可伸縮掃描透射探頭)

? 電子束流：電子束流測量

? 樣品室紅外CCD相機

? 樣品室導航光學探測器

清潔度控制

? 配置等離子體清洗器，與電鏡軟件一體化控制，保證無縫式售后

? 冷阱

 真空系統(tǒng)

? 無油真空系統(tǒng)

? 由一個210L/S前級機械泵，一個渦輪分子泵和兩個離子泵組成

? 樣品室真空度：優(yōu)于2.6×10^-6 mBar(24小時抽吸之后)

數(shù)字圖像處理、記錄系統(tǒng)

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