氣體質(zhì)量流量傳感器AWM40000 系列
AWM40000 系列包括不帶放大和放大/ 信號(hào)處理的信號(hào)。AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000 相同的電路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000 相同的電路。AWM43600V 為6SLPM 器件。
主要特點(diǎn):
1)多個(gè)集中安裝,O形密封圈
2)陶瓷流量管(無(wú)引氣管),0-1000sccm
3)塑料流量管(無(wú)引氣管),0-6SLPM
4)高共模壓力(150psi)
5)工作溫度可至
6)零點(diǎn)和滿量程高穩(wěn)定性