●采用雙重閉環(huán)運動控制,電機在高速運動時具有精確的定位性能。 ●采用本公司開發(fā)的嵌入式模塊控制電機,提高了電機響應速度,還簡化了儀器與PC機的接口,PC機與儀器USB線與S端子線連接。 ●采用花崗巖平臺,外觀簡潔大方。 ●表面光由獨立24組光源組成,每一組均為恒流源驅(qū)動,200極連績可調(diào) ●配有我公司M2D-CNC軟件,大大提高測量效率。 技術參數(shù) 工作臺 金屬臺尺寸(mm) 450*280 玻璃臺尺寸(mm) 306*196 運動行程(mm) 250×150 Z軸升降行程(mm) 150(調(diào)焦) X、Y、Z軸數(shù)顯分辨率 0.0005mm X、Y坐標示值誤差(μm): ≤(3+L/75) 電機 三軸運動速度 100mm/s 三維定位精度 0.001mm 影像系統(tǒng) 攝影機( 日本原裝 ) 雙焦物鏡倍率: 0.7~4.5× 視頻總倍率: 30~190x 物方視場: 10.6~1.6mm 雙焦物鏡倍率:0.7~4.5X 視頻總倍率:30~190X |