優(yōu)勢(shì)特點(diǎn):Ø Schottky肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍亮度高、單色性好、電子束斑小,壽命長(zhǎng)。
Ø 采用電子束加速鏡筒,低壓分辨率高。
Ø 束流穩(wěn)定度高、色散小,適宜于長(zhǎng)時(shí)間的各種精確分析,如BSE、EDS、EBSD。
Ø 低加速電壓不導(dǎo)電樣品可以直接觀測(cè),無(wú)需噴金。
Ø 操作簡(jiǎn)便,僅用鼠標(biāo)即可完成所有的電鏡操作。
項(xiàng)目 | KYKY-EM8100F性能參數(shù) | ||
分辨率 | SE:1 nm(30KV); 3nm(1KV);BSE:2.5nm(30KV) | ||
放大倍數(shù) | 15x~800,000x | ||
電子槍類(lèi)型 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | ||
加速電壓 | 0 ~ 30Kv | ||
自動(dòng)調(diào)整功能 | 聚焦、亮度/對(duì)比度、消像散、電子束對(duì)中等 | ||
真空系統(tǒng) | 2個(gè)離子泵,1個(gè)渦輪分子泵,1個(gè)機(jī)械泵 | ||
探測(cè)器 | 高真空二次電子探測(cè)器(具備保護(hù)探測(cè)器探頭不被碰撞的功能) | ||
樣品臺(tái) | 五軸樣品臺(tái)(X/Y自動(dòng)) | 五軸自動(dòng)臺(tái)(大樣品臺(tái)) | |
5軸全自動(dòng)樣品臺(tái) | X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 150mm |
Y | 0 ~ 60mm | 0 ~ 150mm | |
Z | 0 ~ 50mm | 0 ~ 60mm | |
R | 360° | 360° | |
T | -5° ~ 90° | -5° ~ 75° | |
選配探測(cè)器 | 背散射電子探測(cè)器,X-ray能譜儀(可選) |