產(chǎn)品名稱:磁控濺射脈沖電源
產(chǎn)品型號(hào):BIPS-50001.2E
隨著科學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展,磁控濺射技術(shù)也得到了快速的發(fā)展,但在磁控濺射過(guò)程中,關(guān)鍵部分是脈沖磁控濺射電源,目前,脈沖磁控濺射電源
向大功率、高頻化方向發(fā)展,由于開關(guān)電源的高頻化使得開關(guān)電源的損耗增加,因此,我公司設(shè)計(jì)生產(chǎn)的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開
關(guān)技術(shù),大大降低了電源的開關(guān)損耗,提高了電源的效率,利用輸出電流保護(hù)點(diǎn)設(shè)置的方法,是輸出電流任意調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)了快速反應(yīng)的過(guò)流保護(hù)。高
效和完善的保護(hù)措施是電源能長(zhǎng)期可靠的運(yùn)行保證,電源控制采用數(shù)字化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)電源的本地控制和上位機(jī)智能化控制的目的。
電源采用脈沖單元疊加技術(shù),將5組相互獨(dú)立的單元模塊串聯(lián)起來(lái),采用同步驅(qū)動(dòng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)了5kV 的高壓脈沖輸出。可通過(guò)增減脈沖單元的數(shù)量,滿足
不同輸出電壓的需要,實(shí)現(xiàn)了模塊化設(shè)計(jì)。
該系列電源的指標(biāo)為:
脈沖電壓幅值500V~5kV ,脈沖頻率500Hz~50kHz ,脈沖占空比5%~90% ,脈沖電流幅值10~200A ,脈沖功率5~50kW。
1、單極性脈沖磁控濺射電源是在直流磁控濺射電源基礎(chǔ)上增加單極性正脈斬波電路組合而成,消除了由于直流反應(yīng)濺射出現(xiàn)的靶的污染、陽(yáng)極
消失、極間打火等問(wèn)題。
2、該電源除具有直流磁控濺射電源的優(yōu)點(diǎn)外,能明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象,減少濺射靶表面的打火次數(shù),提高膜層質(zhì)量,適用于金屬、合金
及石墨等靶材鍍制純金屬膜,碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明顯性改善靶面電荷積累現(xiàn)象,減少濺射靶表面的打火次數(shù),提高
膜層質(zhì)量。
3、輸出電壓為單極性脈沖,具有平均電流穩(wěn)流功能。
4、該電源由多個(gè)相對(duì)獨(dú)立的單元疊加而成,具有可靠性高、擴(kuò)展性好等特點(diǎn)。
1、 型號(hào):BIPS-50001.2E;
2、 額定功率:6kW;
3、 額定輸入電壓:3 AC380V±10%, 50Hz ;
4、 輸出方式:脈沖;
5、 輸出頻率:5~20kHz ;
6、 脈沖電壓幅值:1000~5000V(峰值);
7、 平均電流:0~1.2A;
8、 輸出脈沖周期:50~200uS;
9、 脈沖占空比:10~50% ;
10、冷卻方式:風(fēng)冷;
11、外形尺寸:435mm×264mm×554mm(寬×高×深);
12、保護(hù)功能:具有過(guò)流、過(guò)壓、過(guò)熱等保護(hù)措施;
13、液晶屏的智能控制系統(tǒng),任意設(shè)定輸出脈沖電壓幅值、脈沖周期時(shí)間及脈沖頻率,以及各種工藝參數(shù),具有在線可編程功能。